[发明专利]一种瓶颈式反应管及高通量二维单晶炉装置

权利要求书

1.一种瓶颈式反应管，其特征在于，所述瓶颈式反应管呈圆筒状，其底部封闭，顶部采用封管密封，其侧面沿垂直放置设置有若干个“瓶颈”形颈部；所述瓶颈式反应管为真空封管中，原料置于底部，基片水平安装于颈部。

2.按权利要求1所述瓶颈式反应管，其特征在于，所述“瓶颈”形颈部的数量为7～15个，相邻颈部之间的间距为12cm～15cm。

3.按权利要求1所述瓶颈式反应管，其特征在于，所述瓶颈式反应管的外径为17～25mm；所述“瓶颈”形颈部的直径最小处的直径为3mm～15mm。

4.高通量二维单晶炉装置，包括：炉体(1)、刚玉石英管(2)、按权利要求1所述瓶颈式反应管(3)、温控系统(5)及环形加热圈(6)；其特征在于，所述刚玉石英管(2)设置于炉体(1)内壁，所述瓶颈式反应管(3)设置于刚玉石英管内(2)，所述环形加热圈(6)嵌套设置于刚玉石英管(2)内部、与所述瓶颈式反应管(3)中安装的基片呈一一对应关系、且处于同一水平位置；所述温控系统(5)连接炉体、用于控制装置温度。

5.按权利要求4所述高通量二维单晶炉装置，其特征在于，所述高通量二维单晶炉装置中瓶颈式反应管数量≥1，每支瓶颈式反应管形状相同、且底部位于同一水平位置。

6.按权利要求4所述高通量二维单晶炉装置，其特征在于，所述炉体为一个整体炉体、或者多个分段炉体堆叠构成。

7.按权利要求6所述高通量二维单晶炉装置，其特征在于，所述炉体炉膛内径为100～150mm、外径为300～500mm；当所述炉体采用分段式炉体，则分段式炉体高度为12～15mm。