[发明专利]一种全闭环控制的快刀微镂刻装置

权利要求书

1.一种全闭环控制的快刀微镂刻装置，其特征在于，包括镂刻装置本体、柔性铰链、用于顶推柔性铰链的音圈电机、用于控制音圈电机进给量的光栅尺反馈模块、安装座、压电陶瓷电机、刀具和控制单元；所述柔性铰链包括固定部和移动部；所述固定部与移动部弹性连接，所述固定部安装在镂刻装置本体内，所述音圈电机安装在镂刻装置本体内，其输出端与所述移动部抵接；所述光栅尺反馈模块通过所述安装座固定在镂刻装置本体内，与柔性铰链相对；所述压电陶瓷电机垂直安装在柔性铰链上，与所述刀具固定连接，所述控制单元分别与音圈电机、光栅尺反馈模块和压电陶瓷电机连接，驱动刀具对工件冲击镂刻。

2.根据权利要求1所述的全闭环控制的快刀微镂刻装置，其特征在于，所述柔性铰链采用双极片簧式铰链。

3.根据权利要求1所述的全闭环控制的快刀微镂刻装置，其特征在于，镂刻装置还包括用于固定压电陶瓷电机的紧固螺环，所述柔性铰链上设有开口，所述压电陶瓷电机部分穿入开口内，与所述紧固螺环螺纹连接并固定在所述柔性铰链上。

4.根据权利要求1所述的全闭环控制的快刀微镂刻装置，其特征在于，所述光栅尺反馈模块包括光栅尺和读数头；所述光栅尺固定在柔性铰链上，所述读数头安装在镂刻装置本体上，与光栅尺相对，并与控制单元连接。

5.根据权利要求1所述的全闭环控制的快刀微镂刻装置，其特征在于，所述固定部包括若干条形状的弹性条，所述弹性条之间首尾相连构成与所述移动部弹性连接的框体结构。