[发明专利]泵和液体供应装置

说明书

提供一种泵。该泵包括：泵体；消音器，所述消音器连接到所述泵体；和防凝结装置，所述防凝结装置围绕所述消音器。

技术领域

本公开涉及防止消音器冻结或冷凝的泵和液体供应装置。

背景技术

基板表面上的如颗粒、有机污染物和金属污染物等污染物严重影响了成品率和装置的特性。因此，在半导体制造工艺期间，去除附着到基板表面的不同类型污染物的清洗工艺被视为重要工艺，并且在半导体制造工艺的每个单元工艺之前或之后对基板进行清洗。

同时，清洗工艺使用诸如化学液的化学品。在化学液供应装置中使用的泵可以是使用空气压力的波纹管型。这种泵在通气单元中产生严重的排气声。因此，通常在通气单元中安装消音器。

图1示出了常规使用的泵1。在泵的通气单元2中，安装了用于降低噪声的消音器3。在消音器3的表面上形成有多个孔4。另外，为了实现消音器的真正作用，消音器3具有诸如材料、厚度、尺寸和孔数量等规格。泵入泵1中的空气进入消音器3并通过多个孔4排到外部。从孔4排出的空气绝热膨胀并吸收空气，冷却了消音器3的表面，从而发生冷凝或冻结。这种现象堵塞了消音器3的孔4并且干扰了空气的排出。这对消音器3的操作和处理造成了麻烦。

发明内容

一实施例包括一种泵，用于防止消音器表面上冻结或冷凝。

一实施例包括一种液体供应装置，以防止泵的消音器的不良操作及其不良处理。

本发明的实施例不限于下文，并且本领域技术人员可以从以下描述中理解到其它目的。

本发明构思的示例性实施例可提供一种泵。

在示例性实施例中，该泵包括：泵体；连接到该泵体的消音器；和围绕该消音器的防凝结装置。

在示例性实施例中，该防凝结装置包括围绕消音器的壳体。该壳体上形成有用于排出空气的多个通气孔。

在示例性实施例中，该壳体与该消音器间隔开，且该壳体围绕该消音器。

在示例性实施例中，该消音器的表面上形成有多个排气孔。

在示例性实施例中，该多个通气孔形成在该壳体的侧部，且该多个通气孔与该多个排气孔相对。

在示例性实施例中，该通气孔大于该排气孔。

在示例性实施例中，该壳体设置为树脂材料。

在示例性实施例中，该消音器的表面设置成网状结构。

本发明构思的示例性实施例可提供一种液体供应装置。

在示例性实施例中，该液体供应装置包括：用于储存液体的储存罐；以及用于提供电力以将液体供应到外部的泵。该泵包括：泵体；连接到该泵体的消音器；和围绕该消音器的防凝结装置。

在示例性实施例中，该防凝结装置包括围绕该消音器的壳体。该壳体上形成有用于排出空气的多个通气孔。

在示例性实施例中，该壳体与该消音器间隔开，且该壳体围绕该消音器。

在示例性实施例中，该消音器的表面上形成有多个排气孔。

在示例性实施例中，该多个通气孔形成在该壳体的侧部，且该多个通气孔与该多个排气孔相对。

根据一示例性实施例，可以防止消音器表面上的冷凝或冻结。

根据一示例性实施例，可以防止泵的消音器的不良操作及其不良处理。

附图说明

图1大致示出了使用清洁介质清洗基板的现有的基板处理装置。

图2是大致示出基板处理装置的俯视图。