[发明专利]测厚设备及基板玻璃的测厚方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃品质测量领域，具体地，涉及一种测厚设备及基板玻璃的测厚方法。

背景技术

在液晶基板玻璃的品质验证中，厚度作为一项关键性指标，是下游客户检查产品是否合格的一项重要数据。

目前在液晶玻璃基板玻璃的生产过程中，采用在线式测厚设备，可以实时测量玻璃厚度，但是在线式测厚的数据只能反应厚度的大概趋势，而不能做到准确。品质检验中厚度采用离线式测量方式，目前主要是人工将玻璃放在在大理石平台上用千分尺测量。由于千分尺工具的特性，只能测量基板玻璃的一部分，无法覆盖整张基板玻璃，造成品质测量的空白区，且此人工测量误差较大，由于以上两点原因，厚度指标得不到下游客户的认可。此外，此种方法耗时耗力，必须占用一名员工进行测量。

发明内容

本发明的目的是提供一种测厚设备及基板玻璃的测厚方法，该测厚设备及基板玻璃的测厚方法能够实现对整张基板玻璃的测量，提高测量精度和测量效率。

为了实现上述目的，根据本发明的一方面，提供了一种测厚设备，该测厚设备包括：测量平台；第一运动单元，该第一运动单元沿所述测量平台的纵向方向安装在所述测量平台的侧部，所述第一运动单元包括能够沿所述测量平台的纵向方向来回移动的第一滑块；第二运动单元，该第二运动单元沿所述测量平台的横向方向设置在所述测量平台上，并且所述第二运动单元与所述第一运动单元的第一滑块连接，所述第二运动单元包括能够沿所述测量平台的横向方向来回移动的第二滑块；以及传感器，所述传感器朝向所述测量平台安装在所述第二滑块上。

优选地，所述测厚设备包括一个所述第一运动单元，所述第二运动单元的一端连接于所述第一滑块，所述第二运动单元的另一端设有移动机构，所述移动机构设置在所述测量平台上，且沿所述测量平台的纵向方向移动。

优选地，所述移动机构为包括轮支架和安装于所述轮支架的多个支撑轮，所述轮支架连接于所述第二运动单元的一端上，多个支撑轮随所述第二运动单元的另一端沿所述测量平台的纵向方向滚动。

优选地，所述测厚设备包括同步的两个所述第一运动单元，两个所述第一运动单元分别设置在所述测量平台的两个纵向侧，所述第二运动单元的两端分别连接两个所述第一运动单元的第一滑块。

优选地，所述第一运动单元还包括第一导轨，所述第一导轨沿所述测量平台的纵向方向固定设置于所述测量平台的侧部，所述第一滑块设置在所述第一导轨上，并能够沿所述第一导轨移动；所述第二运动单元还包括支撑架和第二导轨，所述支撑架沿所述测量平台的横向方向布置，所述支撑架连接于所述第一滑块，并且能够与所述第一滑块同步移动，所述第二导轨设置在所述支撑架上，所述第二滑块设置在所述第二导轨上，所述第二滑块能够沿所述第二导轨移动。

优选地，所述第一运动单元还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构包括第一驱动电机和第一丝杠，所述第一丝杠沿所述纵向方向设置在所述第一导轨上，所述第一丝杠与所述第一驱动电机连接，所述第一滑块设有与所述第一丝杠配合的第一螺纹孔，所述第一丝杠贯穿所述第一螺纹孔，所述第一驱动电机驱动所述第一丝杠旋转，以使得所述第一滑块移动；所述第二运动单元还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构包括第二驱动电机和第二丝杠，所述第二驱动电机设置在所述第一滑块上，所述第二丝杠沿所述横向方向设置在所述第二导轨上，所述第二丝杠与所述第二驱动电机连接，所述第二滑块设有与所述第二丝杠配合的第二螺纹孔，所述第二丝杠贯穿所述第二螺纹孔，所述第二驱动电机驱动所述第二丝杠旋转，以使得所述第二滑块移动。

优选地，所述第一驱动机构还包括第一联轴器，所述第一丝杠通过所述第一联轴器与所述第一驱动电机连接；所述第二驱动机构包括第二联轴器，所述第二丝杠通过所述第二联轴器与所述第二驱动电机连接。

优选地，所述测量平台的侧部的两端分别设有第一驱动电机安装板和第一丝杠安装板，所述第一驱动电机安装在所述第一驱动电机安装板上，所述第一丝杠安装在所述第一丝杠安装板上。

优选地，所述测量平台包括支撑台和多个定位机构，所述支撑台承载待测厚物、所述第一运动单元和所述第二运动单元，所述待测厚物通过多个所述定位机构固定于所述支撑台的上表面，所述第一运动单元设置在所述支撑台的侧部，所述第二运动单元设置在所述待测厚物的上方。

优选地，所述支撑台为大理石平板，所述定位机构为定位销。

优选地，所述传感器与所述待测厚物之间设有测量间隙，所述测量间隙大于0mm。

优选地，所述测厚设备还包括底座，所述测量平台设置在所述底座上。

优选地，所述底座固定在地面上。