[发明专利]测厚设备及基板玻璃的测厚方法

权利要求书

1.测厚设备，其特征在于，该测厚设备包括：

测量平台(2)；

第一运动单元(3)，该第一运动单元(3)沿所述测量平台(2)的纵向方向安装在所述测量平台(2)的侧部，所述第一运动单元(3)包括能够沿所述测量平台(2)的纵向方向来回移动的第一滑块(3-1)；

第二运动单元(4)，该第二运动单元(4)沿所述测量平台(2)的横向方向设置在所述测量平台(2)上，并且所述第二运动单元(4)与所述第一运动单元(3)的第一滑块(3-1)连接，所述第二运动单元(4)包括能够沿所述测量平台(2)的横向方向来回移动的第二滑块(4-1)；以及

传感器(6)，所述传感器(6)朝向所述测量平台(2)安装在所述第二滑块(4-1)上。

2.根据权利要求1所述的测厚设备，其特征在于，所述测厚设备包括一个所述第一运动单元(3)，所述第二运动单元(4)的一端连接于所述第一滑块(3-1)，所述第二运动单元(4)的另一端设有移动机构，所述移动机构设置在所述测量平台(2)上，且沿所述测量平台(2)的纵向方向移动。

3.根据权利要求2所述的测厚设备，其特征在于，所述移动机构为包括轮支架(4-4)和安装于所述轮支架(4-4)的多个支撑轮(4-5)，所述轮支架(4-4)连接于所述第二运动单元(4)的一端上，多个所述支撑轮(4-5)随所述第二运动单元(4)的另一端沿所述测量平台(2)的纵向方向滚动。

4.根据权利要求1所述的测厚设备，其特征在于，所述测厚设备包括同步的两个所述第一运动单元(3)，两个所述第一运动单元(3)分别设置在所述测量平台(2)的两个纵向侧，所述第二运动单元(4)的两端分别连接两个所述第一运动单元(3)的第一滑块(3-1)。

5.根据权利要求2所述的测厚设备，其特征在于，所述第一运动单元(3)还包括第一导轨(3-2)，所述第一导轨(3-2)沿所述测量平台(2)的纵向方向固定设置于所述测量平台(2)的侧部，所述第一滑块(3-1)设置在所述第一导轨(3-2)上，并能够沿所述第一导轨(3-2)移动；

所述第二运动单元(4)还包括支撑架(4-7)和第二导轨(4-2)，所述支撑架(4-7)沿所述测量平台(2)的横向方向布置，所述支撑架(4-7)连接于所述第一滑块(3-1)，并且能够与所述第一滑块(3-1)同步移动，所述第二导轨(4-2)设置在所述支撑架(4-7)上，所述第二滑块(4-1)设置在所述第二导轨(4-2)上，所述第二滑块(4-1)能够沿所述第二导轨(4-2)移动。

6.根据权利要求1所述的测厚设备，其特征在于，所述第一运动单元(3)还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构包括第一驱动电机(3-7)和第一丝杠(3-6)，所述第一丝杠(3-6)沿所述纵向方向设置在所述第一导轨(3-2)上，所述第一丝杠(3-6)与所述第一驱动电机(3-7)连接，所述第一滑块(3-1)设有与所述第一丝杠(3-6)配合的第一螺纹孔，所述第一丝杠(3-6)贯穿所述第一螺纹孔，所述第一驱动电机(3-7)驱动所述第一丝杠(3-6)旋转，以使得所述第一滑块(3-1)移动；

所述第二运动单元(4)还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构包括第二驱动电机(4-6)和第二丝杠(4-3)，所述第二驱动电机(4-6)设置在所述第一滑块(3-1)上，所述第二丝杠(4-3)沿所述横向方向设置在所述第二导轨(4-2)上，所述第二丝杠(4-3)与所述第二驱动电机(4-6)连接，所述第二滑块(4-1)设有与所述第二丝杠(4-3)配合的第二螺纹孔，所述第二丝杠(4-3)贯穿所述第二螺纹孔，所述第二驱动电机(4-6)驱动所述第二丝杠(4-3)旋转，以使得所述第二滑块(4-1)移动。

7.根据权利要求6所述的测厚设备，其特征在于，所述第一驱动机构还包括第一联轴器(3-3)，所述第一丝杠(3-6)通过所述第一联轴器(3-3)与所述第一驱动电机(3-7)连接；所述第二驱动机构包括第二联轴器，所述第二丝杠(4-3)通过所述第二联轴器与所述第二驱动电机(4-6)连接。

8.根据权利要求6所述的测厚设备，其特征在于，所述测量平台(2)的侧部的两端分别设有第一驱动电机安装板(3-4)和第一丝杠安装板(3-5)，所述第一驱动电机(3-7)安装在所述第一驱动电机安装板(3-4)上，所述第一丝杠(3-6)安装在所述第一丝杠安装板(3-5)上。