[发明专利]压电致动器、层叠致动器、压电马达、机器人、手部件以及泵

说明书

技术领域

本发明涉及压电致动器以及使用了该压电致动器的层叠致动器、压电马达、机器人、手部件以及泵。

背景技术

已知具有粘贴有驱动用压电元件的位移机构部(振动部)、以及支承部的压电致动器(例如专利文献1)。若驱动用压电元件接收到驱动信号的输入，则在驱动用压电元件中产生形变，并使位移机构部相对于支承部振动。

专利文献1：日本特开2001-111128号公报

在上述技术中，存在因振动部的振动而导致在支承部的外侧产生裂缝等损伤的担忧，其中，上述外侧是与振动部相反的一侧。尤其是在支承部由脆性材料形成情况下存在产生裂缝等损伤的担忧。

发明内容

本发明是为了解决上述的课题而完成的，能够作为以下的方式来实现。

(1)根据本发明的一方式，提供一种压电致动器。该压电致动器具备：振动部，其在面内方向上进行弯曲振动；连接部，其在上述振动部的振动方向上与上述振动部连接；支承部，其经由上述连接部支承上述振动部；以及加强部，其在与上述振动部和上述连接部排列的方向相平行的方向上，设置于上述支承部的与上述振动部相反的一侧。

根据该方式，由于具备设置于支承部的与振动部相反的一侧的表面的加强部，所以能够借助加强部进一步减少由振动部的振动而导致支承部的裂缝的产生。

(2)在上述方式中，上述支承部也可以包含脆性材料。

在支承部包含脆性材料的情况下，由于容易产生裂缝，所以基于加强部的减少裂缝的产生的效果较强。

(3)在上述方式中，上述振动部、上述连接部以及上述支承部可以一体形成。

根据该方式，由于振动部、连接部以及支承部一体形成，所以制造容易。

(4)在上述方式中，上述加强部可以包含树脂。

根据该方式，由于加强部包含树脂，所以能够容易地对支承部进行加强。

(5)在上述方式中，上述树脂可以具有通过紫外线进行固化的特性。

根据该方式，由于树脂具有通过紫外线进行固化的特性，所以不需要加热或冷却，能够容易地通过容易地将树脂涂覆至支承部并照射紫外线来进行固化。

(6)在上述方式中，上述加强部可以设置于上述支承部的系杆切断部。

根据该方式，由于支承部的系杆切断部在切断时容易受到损伤，所以优选借助加强部对支承部的系杆切断部进行加强。

(7)根据本发明的一方式，提供一种层叠致动器。该层叠致动器层叠有多个上述方式中的任一项所述的压电致动器。

根据该方式，能够提高驱动力。

本发明能够通过各种方式来实现，例如，除了通过压电驱动装置、压电致动器之外，还能够通过压电马达、具备压电马达的机器人、具备压电马达的手部件、以及具备压电马达的泵等各种方式来实现。

附图说明

图1是表示第一实施方式的压电驱动装置的简要结构的俯视图。

图2是利用压电驱动装置作为压电马达的例子的说明图。

图3是表示在制造工序的中途的阶段形成于基板上的压电驱动装置的俯视图。

图4是表示蚀刻后的基板的说明图。

图5是放大表示图4中的系杆的附近的区域的说明图。

图6是放大表示系杆切断后的系杆切断部的附近的说明图。

图7是表示在系杆切断部设置有加强部的状态的说明图。

图8是表示第二实施方式的压电驱动装置的简要结构的俯视图。

图9是表示第三实施方式的压电驱动装置的简要结构的俯视图。

图10是表示机器人的一个例子的说明图。

图11是机器人的手腕部分的说明图。

图12是表示手指辅助装置的说明图。

图13是表示泵的一个例子的说明图。

具体实施方式

·第一实施方式：

图1是表示第一实施方式的压电驱动装置(压电致动器)10的简要结构的俯视图。压电驱动装置10具备基板200以及压电元件110。为了方便图示，在基板200添加阴影线。基板200具备振动部210、支承部220以及连接部230。振动部210是呈大致长方形的部件，并载置有压电元件110。