[发明专利]减压干燥方法及减压干燥装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥的减压干燥方法及减压干燥装置。

背景技术

以前，聚酰亚胺因其耐热性、耐化学性(chemical resistance)、电气特性、机械特性等而多用于各种技术领域中。例如作为柔性(flexible)基板的基材，而广泛采用聚酰亚胺膜。该聚酰亚胺膜例如如专利文献1所记载的那样，通过执行如下工序而制造，即，

工序1：对支撑体表面涂布聚酰亚胺前驱物溶液而形成聚酰亚胺前驱物溶液的涂布膜；

工序2：在进行酰亚胺化(imidization)前将所述涂布膜中的大多数的溶剂去除而形成所需膜厚的聚酰亚胺前驱物涂膜；

工序3：通过对残留一部分溶剂的状态下的聚酰亚胺前驱物涂膜实施热处理而将所残留的溶剂完全去除，并且将聚酰亚胺前驱物酰亚胺化。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2002-225052号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在例如制造膜厚10μm的聚酰亚胺膜的情况下，工序1中形成膜厚100μm的涂布膜，利用工序2以膜厚为13μm～15μm左右的方式将大部分溶剂去除后，进行工序3。此处，为了执行所述工序2，将形成着聚酰亚胺前驱物溶液的涂布膜的支撑体配置于减压干燥炉内而进行溶剂去除，能够通过提高减压干燥时的温度而缩短工序2所需的时间。然而，为了防止产生干燥不均或膜隆起(脱泡)等，必须将减压干燥炉内的温度设定为40℃～80℃左右。其结果，难以大幅缩短工序2所需的时间，从而仍存在难以进行有效率的处理(process)的课题。

本发明鉴于所述课题而完成，目的在于提供一种减压干燥技术，能够缩短对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥所需的时间。

[解决问题的技术手段]

本发明的一实施方式为一种减压干燥方法，包括：(a)工序，将涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜以第一温度进行减压干燥；以及(b)工序，将经过了所述工序(a)的基板上的涂布膜以比第一温度高的第二温度进行减压干燥。

而且，本发明的另一实施方式为一种减压干燥装置，对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥，包括：第一减压干燥单元，以第一温度进行减压干燥；第二减压干燥单元，以比第一温度高的第二温度进行减压干燥；以及搬送单元，将利用第一减压干燥单元而受到涂布膜的减压干燥的基板搬送到第二减压干燥单元。

将涂布膜中的溶剂去除时的干燥不均或膜隆起(脱泡)容易发生在减压干燥的初期阶段，一旦经过该初期阶段则即便以高温进行减压干燥也不会发生所述问题。因此，本发明中，是在减压干燥的初期阶段进行以相对低温(第一温度)进行的低温减压干燥后，进行以相对高温(第二温度)进行的高温减压干燥，由此缩短总干燥时间。

[发明的效果]

如以上，根据本发明，在将涂布膜以第一温度进行减压干燥后，以高于第一温度的第二温度进行减压干燥，因而能够大幅缩短涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜的减压干燥的处理时间。

附图说明

图1是表示装备本发明的减压干燥装置的一实施方式的聚酰亚胺膜制造系统的示意图。

图2是表示减压干燥单元的构成的图。

图3是表示图1所示的减压干燥装置的工作流程图。

图4是表示本发明的减压干燥装置中能够装备的减压干燥单元的其他构成的图。

图5A是表示利用现有的减压干燥装置进行减压干燥时的减压干燥的进行状况的曲线图。

图5B是表示利用图1中的减压干燥装置进行减压干燥时的减压干燥的进行状况的曲线图。

[符号的说明]

1：聚酰亚胺膜制造系统

2：涂布装置

3：减压干燥装置

3A：第一减压干燥单元

3B：第二减压干燥单元

3C：搬送机器人(搬送单元)

3D：控制单元

4：热处理装置

5、6：搬送机器人

8：排气单元

34：开闭驱动部

36：基底部

37：盖部

38、314：O型环

50：加热部

51：热板

52：橡胶加热器

60：减压单元