[发明专利]导模法蓝宝石长晶系统有效
申请号: | 201710136257.3 | 申请日: | 2017-03-09 |
公开(公告)号: | CN108570707B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 张岩;马鹏翔;赵子强;邢星;李晋;陈菲菲;谷元中;梁浩;邓晓妍 | 申请(专利权)人: | 中科钢研节能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 严政;刘依云 |
地址: | 100081 北京市海淀区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导模法 蓝宝石 晶系 | ||
1.一种导模法蓝宝石长晶系统,其特征在于,所述导模法蓝宝石长晶系统包括蓝宝石长晶炉(1)、称重传感器(2)和自动控温装置(3),所述蓝宝石长晶炉(1)的内部设置有模具(4)、坩埚(5)、加热部件(6)和籽晶杆(7),所述模具(4)设置在坩埚(5)内部,所述加热部件(6)设置在所述坩埚(5)的外周,所述模具(4)具有从上到下贯穿的10条以上的狭缝(8),所述模具(4)的高度h为93-97mm,每条狭缝(8)的宽度d为0.6-0.9mm,每条狭缝(8)的长度l为85-95mm;所述籽晶杆(7)设置在所述坩埚(5)的上方,所述籽晶杆(7)与所述称重传感器(2)相连,所述自动控温装置(3)被设置为用于接收所述称重传感器(2)的称重信号,并根据接收的称重信号反馈控制加热部件(6)的加热功率;
其中,相邻两条狭缝(8)之间的间距为1-1.5mm;
所述称重传感器(2)获得的称重信号为长晶速度,当该长晶速度大于预定长晶速度值时,通过所述自动控温装置(3)来提高所述加热部件(6)的加热功率;当该长晶速度小于预定长晶速度值时,通过控制所述自动控温装置(3)来降低所述加热部件(6)的加热功率。
2.根据权利要求1所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述模具(4)的高度h为94-95mm,每条狭缝(8)的宽度d为0.7-0.8mm,每条狭缝(8)的长度l为88-92mm。
3.根据权利要求1或2所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述称重传感器(2)的内部设置有真空称重装置(21)。
4.根据权利要求3所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述导模法蓝宝石长晶系统还包括抽真空装置(22),所述抽真空装置(22)与所述真空称重装置(21)连通。
5.根据权利要求1或2所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述蓝宝石长晶炉(1)的内部还设置有籽晶夹(9),所述籽晶夹(9)设置在所述籽晶杆(7)的下方。
6.根据权利要求1或2所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述蓝宝石长晶炉(1)的内部还设置有坩埚支架(10),所述坩埚支架(10)位于所述坩埚(5)的下方。
7.根据权利要求1或2所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述加热部件(6)为加热线圈。
8.根据权利要求1或2所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述蓝宝石长晶炉(1)的内部还设置有保温层(11),所述保温层(11)位于所述加热部件(6)的外周。
9.根据权利要求1或2所述的导模法蓝宝石长晶系统,其中,所述蓝宝石长晶炉(1)上还设置有抽真空口(12)。
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