[发明专利]直写式光刻机曝光对准装置及方法

权利要求书

1.一种直写式光刻机曝光对准装置，包括呈并置式分布的第一台面（4）以及第二台面（5）；其特征是：在所述第一台面（4）、第二台面（5）的上方设置对准图像抓取机构，所述对准图像抓取机构包括导轨（1）以及设置于导轨（1）上的第一对准相机（2）与第二对准相机（3），第一对准相机（2）、第二对准相机（3）能在所述导轨（1）上进行所需的运动，并在运动到所需的位置后，能抓取第一台面（4）、第二台面（5）上相应靶标（6）的图像。

2.根据权利要求1所述的直写式光刻机曝光对准装置，其特征是：所述第一对准相机（2）包括用于与导轨（1）连接的第一相机安装底座（8）以及安装于所述第一相机安装底座（8）上的第一对准镜头（9），所述第一对准镜头（9）上设有第一对准镜筒（10）。

3.根据权利要求1所述的直写式光刻机曝光对准装置，其特征是：所述第二对准相机（3）包括用于与导轨（1）连接的第二相机安装底座（11）以及安装于所述第二相机安装底座（11）上的第二对准镜头（12），所述第二对准镜头（12）上设有第二对准镜筒（13）。

4.根据权利要求1所述的直写式光刻机曝光对准装置，其特征是：所述第一对准相机（2）、第二对准相机（3）在导轨（1）上运动时，第一对准相机（2）、第二对准相机（3）在导轨（1）上的间距不小于安全距离。

5.一种直写式光刻机曝光对准方法，其特征是，所述曝光对准方法包括如下步骤：

步骤1、提供呈并置式分布的第一台面（4）以及第二台面（5），并在第一台面（4）、第二台面（5）的上方设置对准图像抓取机构，所述对准图像抓取机构包括导轨（1）以及设置于导轨（1）上的第一对准相机（2）与第二对准相机（3），第一对准相机（2）、第二对准相机（3）能在所述导轨（1）上进行所需的运动；

步骤2、在上述第一台面（4）、第二台面（5）上放置所需的PCB板（7），在对第一台面（4）或第二台面（5）上的PCB板（7）利用第一对准相机（2）、第二对准相机（3）进行对准时，对第二台面（5）或第一台面（4）上的PCB板（7）进行曝光。

6.根据权利要求5所述直写式光刻机曝光对准方法，其特征是：在对PCB板（7）进行对准时，包括内层对准步骤以及外层对准步骤；其中，

内层对准步骤为：将PCB板（7）的A面朝上放置，并开启当前PCB板（7）所在台面用于形成靶标（6）的光源，在对PCB板（7）的A面曝光时，在PCB板（7）的B面打两个靶标（6）；

在PCB板（7）的A面曝光完成后，将PCB板（7）翻面，利用第一对准相机（2）、第二对准相机（3）分别抓取并记录B面上靶标（6）的位置，根据B面上靶标（6）的位置确定PCB板（7）B面的曝光初始位置，并根据所述曝光初始位置对所述PCB板（7）的B面进行曝光；

外层对准时，利用PCB板（7）上的四个定位孔作为外层对准的靶标（6），根据四个定位孔的位置范围，控制当前PCB板（7）所在台面移动到所需的位置，以使得靠近第一对准相机（2）、第二对准相机（3）的两个定位孔处于第一对准相机（2）、第二对准相机（3）的视场内，并利用第一对准相机（2）、第二对准相机（3）抓取并记录所述两个作为靶标（6）的定位孔位置；

控制当前PCB板（7）所在台面移动至所需的位置，以使得远离第一对准相机（2）、第二对准相机（3）的两个定位孔处于第一对准相机（2）、第二对准相机（3）的视场内，利用第一对准相机（2）、第二对准相机（3）抓取并记录所述两个作为靶标（6）的定位孔位置；

根据上述获取四个靶标（6）的位置，确定PCB板（7）外层的曝光初始位置。

7.根据权利要求5或6所述直写式光刻机曝光对准方法，其特征是：所述第一对准相机（2）、第二对准相机（3）在导轨（1）上运动时，第一对准相机（2）、第二对准相机（3）在导轨（1）上的间距不小于安全距离。

8.根据权利要求5或6所述直写式光刻机曝光对准方法，其特征是：所述第一对准相机（2）包括用于与导轨（1）连接的第一相机安装底座（8）以及安装于所述第一相机安装底座（8）上的第一对准镜头（9），所述第一对准镜头（9）上设有第一对准镜筒（10）。

9.根据权利要求5或6所述直写式光刻机曝光对准方法，其特征是：所述第二对准相机（3）包括用于与导轨（1）连接的第二相机安装底座（11）以及安装于所述第二相机安装底座（11）上的第二对准镜头（12），所述第二对准镜头（12）上设有第二对准镜筒（13）。