[发明专利]高导热性树脂金刚石线锯的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及金刚石线锯生产技术领域，具体涉及一种高导热性树脂金刚石线锯的制备方法。

背景技术

将树脂、金刚石微粉及填料涂覆在母线上，在一定温度下树脂发生交联固化作用将金刚石微粉固定在母线表面，得到树脂金刚石线锯。树脂金刚石线锯具有制造工艺简单、周期短、成本低、切割速度快等特点。在用树脂金刚石线锯切割硅锭时，切割的线速度可达到15～20米/秒，高速的往复切割在硅锭与金刚石线锯之间产生大量的热量，如果不把这些热量及时带走的话将严重影响硅片的切割质量，同时长时间的高温也会加速树脂层的老化，使树脂层脱落，并影响树脂金刚石线锯的使用寿命。因此，如何提高树脂金刚石线锯的导热性成为提高晶硅片切割质量、延长树脂金刚石线锯使用寿命的重点。

发明内容

针对树脂金刚石线锯在切割过程中产生的大量热量无法及时排除，导致树脂层老化、脱落，影响切割质量的问题，本发明提供了一种高导热性树脂金刚石线锯的制备方法，所得树脂金刚石线锯的导热性高，能及时把硅锭切割过程中产生的热量带走，提高了树脂金刚石线锯的使用寿命和硅片的切割质量。

为解决以上技术问题，本发明通过以下技术方案实现：

设计一种高导热性树脂金刚石线锯的制备方法，包括以下步骤：

(1)称取一定量的树脂；

(2)加入一定量的纳米功能助剂、填料、溶剂和偶联剂，搅拌均匀后，静置15～60min，使树脂完全溶解；

(3)加入一定量金刚石微粉，再次搅拌均匀，得到树脂混合液；

(4)把所得树脂混合液加入树脂金刚石线锯制线机依次进行涂覆、预固化、固化，即成。

根据上述的制备方法，所述树脂为酚醛树脂。

根据上述的制备方法，所述填料为碳化硅。

根据上述的制备方法，所述溶剂为二甲基甲酰胺或乙醇。

根据上述的制备方法，所述偶联剂为硅烷偶联剂。

根据上述的制备方法，所述金刚石微粉的粒度为5～50μm。

根据上述的制备方法，所述纳米功能助剂是纳米银、纳米铜、纳米铁、纳米银线、纳米铜线和纳米铁线中的至少一种。

根据上述的制备方法，所述树脂、纳米功能助剂、填料、溶剂、偶联剂和金刚石微粉之间的重量比为500～560：0.8～1.8：60～70：210～260：3～6：124～189。

根据上述的制备方法，所述树脂、纳米功能助剂、填料、溶剂、偶联剂和金刚石微粉之间的重量比为550：1.1：68：250：6：124.9。

本发明具有以下积极有益效果：

本发明可有效提高树脂金刚石线锯的导热性，制备出的线锯对硅锭的切割效果更强，切割出的硅片成品率高，硅片翘曲度更低；同时切割的线耗能够有效的降低。

具体实施方式

下面结合实施例来说明本发明的具体实施方式，但以下实施例只是用来详细说明本发明，并不以任何方式限制本发明的范围。在以下实施例中所涉及的仪器设备如无特别说明，均为常规仪器设备；所涉及的生化试剂如无特别说明，均为常规市售产品；所涉及的检测方法或试验方法，如无特别说明，则均为常规方法。

实施例1：

一种高导热性树脂金刚石线锯的制备方法，包括以下步骤：精确称取酚醛树脂500g，分别加入纳米银1.2g、碳化硅60g、二甲基酰胺260g、硅烷偶联剂3g，搅拌均匀后静置15min，之后加入金刚石微粉175.8g，再次搅拌均匀；把配置好的树脂混合液倒入树脂金刚石线锯制线机进行金刚石线锯的常规制备。制线机的操作参数为：树脂混合液上料速度20mL/min，固化炉温度530℃，收线及放线速度为1.2m/min。

实施例2：

一种高导热性树脂金刚石线锯的制备方法，包括以下步骤：精确称取酚醛树脂520g，分别加入纳米铜1.5g、碳化硅60g、二甲基酰胺260g、硅烷偶联剂3g，搅拌均匀后静置45min，之后加入金刚石微粉155.5g，再次搅拌均匀；把配置好的树脂混合液倒入树脂金刚石线锯制线机进行金刚石线锯的常规制备。制线机的操作参数为：树脂混合液上料速度20mL/min，固化炉温度530℃，收线及放线速度为1.2m/min。

实施例3：