[发明专利]一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法

权利要求书

1.一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）试样截取：采用线切割机将低碳钢加工为方便持拿的试样，用砂轮机将试样的待测面磨平；

（2）磨光：将试样待测面经碳化硅水砂纸磨光；

（3）清洗：将磨好的试样用无水乙醇清洗，并吹干；

（4）氩离子束抛光：用高能氩离子束对试样待测面进行抛光，得到用于EBSD分析的样品。

2.根据权利要求1所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，将低碳钢加工成6～10mm×8mm×8mm的试样。

3.根据权利要求1所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，碳化硅水砂纸使用型号从粗到细依次为400#、800#、1200#。

4.根据权利要求1所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，每次用不同号的砂纸磨制时间为2～5min，每换一次砂纸将试样沿同一方向旋转90度，将上一号的砂纸留下的划痕磨掉。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，磨光过程中用水做润滑剂和冷却剂。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中吹干方法为用吹风机的冷风吹干。

7.根据权利要求1-4任意一项所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中高能氩离子束能量为3.5～5.5KeV，离子束抛光样品时离子束与待测面之间角度控制在8～10度。

8.根据权利要求1-4任意一项所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中高能氩离子束抛光样品时，真空度要求小于5×10^-4Pa。

9.根据权利要求1-4任意一项所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中高能氩离子束抛光样品待测面时间为40min～120min。

10.根据权利要求1-4任意一项所述的一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中抛光所使用的高纯氩气的纯度≥99.999%。