[发明专利]一种激光测量方法、装置以及系统

说明书

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体而言，涉及一种激光测量方法、装置以及系统。

背景技术

使用双激光对射方式进行产品厚度的非接触式测量，已是一种日渐常用的应用。该方法有测量精度高、测量效率快，不会损伤产品表面等优势。

现有的激光对射测厚方法，多采用一对点激光测头，进行踩点式的测量，或配合XY平台运动进行线扫描方式的测量，这种监测方式中，测量区域小，测量准确度差。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例的目的在于提供一种激光测量方法、装置以及系统，能够增加测量面，提升测量准确度。

第一方面，本发明实施例提供了一种激光测量方法，该测量方法应用于包括两个线线激光位移传感器的激光测量系统中，两个所述线激光位移传感器的测头相对设置；该方法包括：

针对两个所述线线激光位移传感器进行线性度补偿，获取线性度补偿数据；

每隔预设时间，触发两个所述线激光位移传感器，并获取两个所述线激光位移传感器的对待测量产品的测量信息；

根据所述测量信息以及所述线性度补偿数据，计算所述待测量产品在不同位置的实际厚度数据。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中：所述针对两个所述线线激光位移传感器进行线性度补偿，获取线性度补偿数据具体包括：

移动XYZ三维运动平台的Z轴，使得标准块进入两个所述线线激光位移传感器的中心位置；所述标准块放置于所述XYZ三维运动平台上；

获取所述标准块在中心位置的激光测量数据；

根据所述激光测量数据、标准块的实际厚度数据以及两个所述线线激光位移传感器的实际距离，计算所述线性度补偿数据。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中：

还包括：对所述待测量产品在不同位置的实际厚度数据进行过滤处理，滤除异常厚度数据；

根据过滤处理后的实际厚度数据，获取最大厚度、最小厚度，并计算平均厚度。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中：

还包括：对所述线激光位移传感器进行点检；

所述对所述线激光位移传感器进行点检，具体包括：

对标准块的厚度进行测量，获取标准块的最大厚度、最小厚度以及平均厚度；

获取标准块的最大厚度、最小厚度以及平均厚度，并根据所述标准块的实际厚度，计算测量误差；

判断测量误差是否在预设范围内，如果是，则点检通过；如果否，则对线激光位移传感器进行位置调整。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中：所述对线激光位移传感器进行位置调整具体包括：

在对标准块的厚度进行测量时，获取两个所述线激光位移传感器的对标准块的测量信息；

根据所述测量信息计算所述线激光位移传感器的偏差值；

根据所述偏差值调整所述线激光位移传感器。

第二方面，本发明实施例还提供一种激光测量装置，该测量装置应用于包括两个线线激光位移传感器的激光测量系统中，两个所述线激光位移传感器的测头相对设置；该装置包括：

线性度补偿数据获取单元，用于针对两个所述线线激光位移传感器进行线性度补偿，获取线性度补偿数据；

测量信息获取单元，用于每隔预设时间，触发两个所述线激光位移传感器，并获取两个所述线激光位移传感器的对待测量产品的测量信息；

实际厚度数据计算单元，用于根据所述测量信息以及所述线性度补偿数据，计算所述待测量产品在不同位置的实际厚度数据。

结合第二方面，本发明实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中：所述线性度补偿数据获取单元具体包括：

运动平台控制模块，用于移动XYZ三维运动平台的Z轴，使得标准块进入两个所述线线激光位移传感器的中心位置；所述标准块放置于所述XYZ三维运动平台上；

激光测量数据获取模块，用于获取所述标准块在中心位置的激光测量数据；

线性度补偿数据计算模块，用于根据所述激光测量数据、标准块的实际厚度数据以及两个所述线线激光位移传感器的实际距离，计算所述线性度补偿数据。

结合第二方面，本发明实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中：还包括：输出数据计算单元，用于对所述待测量产品在不同位置的实际厚度数据进行过滤处理，滤除异常厚度数据；