[发明专利]气体传感器、氢检测方法以及燃料电池汽车有效

申请号：	201710082992.0	申请日：	2017-02-16
公开（公告）号：	CN107228883B	公开（公告）日：	2021-07-27
发明（设计）人：	魏志强;本间运也;藤井觉	申请（专利权）人：	新唐科技日本株式会社
主分类号：	G01N27/04	分类号：	G01N27/04
代理公司：	永新专利商标代理有限公司 72002	代理人：	刘凤岭;陈建全
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	气体传感器检测方法以及燃料电池汽车
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【说明书】：

本发明提供电功耗小的气体传感器、燃料电池汽车以及氢检测方法。所述气体传感器具有：第1导电层；第2导电层，其包括具有第1厚度的第1区域、和具有比所述第1厚度大的第2厚度的第2区域；金属氧化物层，其配置于所述第1导电层和所述第2导电层之间，且包括块状区域、和被所述块状区域包围并具有比所述块状区域大的氧缺位度的局部区域；以及绝缘膜，其覆盖所述第1导电层、所述第2导电层的所述第2区域以及所述金属氧化物层，而且不覆盖所述第2导电层的所述第1区域。

技术领域

本发明涉及一种气体传感器。

背景技术

在专利文献1中，公开了一种将氢气的存在作为电阻值的变化来进行检测的气体传感器。该气体传感器具有在五氧化钽(Ta₂O₅)中添加有钯(Pd)和玻璃的材料、以及夹着该材料的铂(Pt)电极。

在非专利文献1中，公开了一种用于氢传感的Pt/Ta₂O₅肖特基二极管。在该肖特基二极管中，氢分子在催化剂Pt的表面离解成氢原子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭59-58348号公报

非专利文献

非专利文献1：Sensors and Actuators A 172(2011)9-14

发明内容

发明所要解决的课题

本发明提供一种节能性优良的气体传感器。

用于解决课题的手段

本发明的一方式涉及一种气体传感器，其具有：第1导电层；第2导电层，其包括具有第1厚度的第1区域、和具有比所述第1厚度大的第2厚度的第2区域；金属氧化物层，其配置于所述第1导电层和所述第2导电层之间，且包括块状(bulk)区域、和被所述块状区域包围并具有比所述块状区域大的氧缺位度的局部区域；以及绝缘膜，其覆盖所述第1导电层、所述第2导电层的所述第2区域以及所述金属氧化物层，而且不覆盖所述第2导电层的所述第1区域。

发明的效果

本发明的一方式的气体传感器具有优良的节能性。

附图说明

图1A是表示第1实施方式的气体传感器的构成例的剖视图。

图1B是表示第1实施方式的气体传感器的构成例的俯视图。

图2是表示第1实施方式的变形例1的气体传感器的构成的剖视图。

图3是表示第1实施方式的变形例2的气体传感器的构成的剖视图。

图4A是表示第1实施方式的变形例3的气体传感器的构成的剖视图。

图4B是表示第1实施方式的变形例3的气体传感器的构成的俯视图。

图5A是表示第1实施方式的变形例3的气体传感器的制造方法的剖视图。

图5B是表示第1实施方式的变形例3的气体传感器的制造方法的剖视图。

图5C是表示第1实施方式的变形例3的气体传感器的制造方法的剖视图。