[发明专利]一种光刻胶及其应用方法

权利要求书

1.一种光刻胶，其特征在于，所述光刻胶为基因重组蜘蛛丝蛋白。

2.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于：所述基因重组蜘蛛丝蛋白的分子量为1～500KDa。

3.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于：所述基因重组蜘蛛丝蛋白的形态为液体或者固体粉末。

4.一种如权利要求1～3任一项所述光刻胶的应用方法，其特征在于，所述应用方法包括：

1)将所述光刻胶溶于水中，所述光刻胶为基因重组蜘蛛丝蛋白，从而形成基因重组蜘蛛丝蛋白水溶液；

2)提供一基底，将所述基因重组蜘蛛丝蛋白水溶液涂覆于所述基底上，干燥并固化形成基因重组蜘蛛丝蛋白薄膜；

3)对所述基因重组蜘蛛丝蛋白薄膜进行曝光；

4)将所述曝光后的基因重组蜘蛛丝蛋白薄膜样品置于水中显影并干燥，获得基因重组蜘蛛丝蛋白结构。

5.根据权利要求4所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：在所述步骤2)和3)之间，还包括对所述基因重组蜘蛛丝蛋白薄膜进行交联化处理的步骤。

6.根据权利要求4所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：所述步骤1)中的水为超纯水，电阻率不小于18MΩ·cm。

7.根据权利要求4所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：所述基因重组蜘蛛丝蛋白水溶液的浓度为1μg/L～1g/ml。

8.根据权利要求4所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述涂覆为滴涂或者旋涂，滴涂时所用基因重组蜘蛛丝蛋白体积为0.1～1000μL；旋涂时所用基因重组蜘蛛丝蛋白体积为0.1～1000μL，转速为1～10000r/min，旋涂时间为1s～1h。

9.根据权利要求4所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：所述步骤2)中，采用15～35℃干燥，干燥时间0.1h～48h；固化采用烘箱加热，固化温度为70～130℃，固化时间0.1～300 min。

10.根据权利要求5所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：所述交联化处理方式为交联剂处理或者水蒸气退火处理，采用的交联剂为甲醇，交联时间为1s～1000h；采用水蒸气退火，退火温度为1～100℃，时间为1s～1000h，压力为-100KPa～100KPa。

11.根据权利要求4所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：所述步骤3)中，所述曝光为电子束曝光或者聚焦离子束曝光，电子束曝光的加速电压为0.1～200kV，束流为0.1～1000pA，曝光剂量为0.1～10⁷μC/cm²；聚焦离子束的加速电压为1～200kV,束流为1～10000pA,曝光剂量为0.1～10⁸μC/cm²。

12.根据权利要求4所述的光刻胶的应用方法，其特征在于：所述步骤4)中，所述显影所用为超纯水，电阻率不小于18MΩ·cm，显影时间为1s～10h，干燥方式为25℃常压下干燥，时间1s～100h。