[发明专利]一种高强度石英坩埚在审

专利信息
申请号: 201710067324.0 申请日: 2017-02-07
公开(公告)号: CN108398014A 公开(公告)日: 2018-08-14
发明(设计)人: 刘福鸿;陈宝昌 申请(专利权)人: 江苏华尔石英材料股份有限公司
主分类号: F27B14/10 分类号: F27B14/10;H01L31/18;C30B35/00
代理公司: 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 代理人: 邱兴天
地址: 225600 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石英坩埚 通孔 螺纹柱 内环形板 定位柱 外环形 盲孔 螺母 易碎 外圆周 侧壁 吊起 穿过
【权利要求书】:

1.一种高强度石英坩埚,其特征在于,包括石英坩埚本体、截面呈圆环形的内环形板、截面呈圆环形的外环形板,所述内环形板外圆周上固定有4个螺纹柱,所述石英坩埚本体侧壁具有4个盲孔和4个第一通孔,所述外环形板具有4个第二通孔和4个定位柱,每个螺纹柱穿过一个第一通孔和一个第二通孔,每个螺纹柱上穿设有一个螺母,每个定位柱插入一个盲孔内。

2.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述内环形板的外径等于石英坩埚本体的内径,所述石英坩埚本体的外径等于所述外环形板的内径。

3.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述石英坩埚本体包括底部、侧壁和连接底部与侧壁的连接部,所述侧壁呈圆柱环形,所述底部为平面形状。

4.根据权利要求3所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述侧壁的内侧、连接部的内侧和底部的内侧均具有氢氧化钡涂层。

5.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述4个第一通孔位于同一水平高度且等间距分布,所述4个盲孔位于同一水平高度且等间距分布,所述第一通孔的水平高度高于所述盲孔的水平高度。

6.根据权利要求5所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述第一通孔的轴线距离石英坩埚本体边缘的距离小于5cm。

7.根据权利要求5所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述内环形板由4个相同的弧形板焊接而成;所述外环形板由2个相同的半圆环形板焊接而成。

8.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述内环形板、外环形板均由不锈钢制成。

9.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述外环形板上还具有多个位于同一水平高度的第三通孔,所述第三通孔高于所述第二通孔。

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