[发明专利]一种高强度石英坩埚在审
申请号: | 201710067324.0 | 申请日: | 2017-02-07 |
公开(公告)号: | CN108398014A | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 刘福鸿;陈宝昌 | 申请(专利权)人: | 江苏华尔石英材料股份有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10;H01L31/18;C30B35/00 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 邱兴天 |
地址: | 225600 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英坩埚 通孔 螺纹柱 内环形板 定位柱 外环形 盲孔 螺母 易碎 外圆周 侧壁 吊起 穿过 | ||
1.一种高强度石英坩埚,其特征在于,包括石英坩埚本体、截面呈圆环形的内环形板、截面呈圆环形的外环形板,所述内环形板外圆周上固定有4个螺纹柱,所述石英坩埚本体侧壁具有4个盲孔和4个第一通孔,所述外环形板具有4个第二通孔和4个定位柱,每个螺纹柱穿过一个第一通孔和一个第二通孔,每个螺纹柱上穿设有一个螺母,每个定位柱插入一个盲孔内。
2.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述内环形板的外径等于石英坩埚本体的内径,所述石英坩埚本体的外径等于所述外环形板的内径。
3.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述石英坩埚本体包括底部、侧壁和连接底部与侧壁的连接部,所述侧壁呈圆柱环形,所述底部为平面形状。
4.根据权利要求3所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述侧壁的内侧、连接部的内侧和底部的内侧均具有氢氧化钡涂层。
5.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述4个第一通孔位于同一水平高度且等间距分布,所述4个盲孔位于同一水平高度且等间距分布,所述第一通孔的水平高度高于所述盲孔的水平高度。
6.根据权利要求5所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述第一通孔的轴线距离石英坩埚本体边缘的距离小于5cm。
7.根据权利要求5所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述内环形板由4个相同的弧形板焊接而成;所述外环形板由2个相同的半圆环形板焊接而成。
8.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述内环形板、外环形板均由不锈钢制成。
9.根据权利要求1所述的高强度石英坩埚,其特征在于,所述外环形板上还具有多个位于同一水平高度的第三通孔,所述第三通孔高于所述第二通孔。
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