[发明专利]制造显示装置的方法有效
申请号: | 201710066226.5 | 申请日: | 2017-02-06 |
公开(公告)号: | CN107154464B | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 金容铎;赵尹衡;龙学重;尹德灿;任兴均 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘灿强;尹淑梅 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 显示装置 方法 | ||
公开了一种制造显示装置的方法,所述方法包括在基底上形成显示部分,以及形成用于密封显示部分的包封部分。形成包封部分的步骤包括形成覆盖显示部分的第一层、在第一层上形成第二层以及在第二层上形成第三层。通过以第一间隔维持显示部分的上表面和掩模之间的距离来形成第一层。通过以不同于第一间隔的第二间隔维持第一层的上表面和掩模之间的距离来形成第二层。通过以不同于第二间隔的第三间隔维持第二层的上表面和掩模之间的距离来形成第三层。
本申请要求于2016年3月2日提交到韩国知识产权局的第10-2016-0025032号韩国专利申请的优先权和权益,该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。
技术领域
本公开的示例实施例的一个或更多个方面涉及制造显示装置的方法。
背景技术
随着信息技术的发展,作为用户和信息之间的连接媒介的显示装置的市场已经增长。因此,已经增加了诸如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)显示器和等离子体显示面板(PDP)的平板显示器(FPD)的使用。
为了用户方便,需要提高显示装置图像质量,为了减少成本,需要简化工艺(例如,显示器制造工艺)。
保护显示装置免受外部的湿气和/或氧可以提高显示装置的可靠性。然而,在形成用于密封显示装置的包封部分之前和/或当形成用于密封显示装置的包封部分时,外部的湿气和/或氧会通过显示装置的侧表面侵入。
发明内容
本公开的示例实施例的一个或更多个方面针对制造显示装置的方法,其中,改善了显示装置的密封功能并且减少了工艺数。
额外的方面将被部分地阐述于后面的描述中,并部分地通过该描述将是明显的,或者可以通过给出的实施例的实践而获悉。
本公开的一个或更多个示例实施例提供了制造显示装置的方法,包括以下步骤:在基底上形成显示部分,以及形成用于密封显示部分的包封部分,其中,形成包封部分的步骤包括形成覆盖显示部分的第一层、在第一层上形成第二层以及在第二层上形成第三层,其中,通过在显示部分的上表面和掩模之间维持第一间隔的距离来形成第一层,通过在第一层的上表面和掩模之间维持不同于第一间隔的第二间隔的距离来形成第二层,通过在第二层的上表面和掩模之间维持不同于第二间隔的第三间隔的距离来形成第三层。
第一层和第三层可以均包括无机材料,第二层可以包括不同于第一层和第三层中每个的材料的有机和/或无机复合材料。
第二层可以包括从六甲基二硅氧烷(HMDSO)、六甲基二硅氮烷(HMDSN)、四甲基二硅氧烷(TMDSO)、正硅酸乙酯(TEOS)、八甲基环四硅氧烷(OMCTS)和四氧甲基环四硅氧烷(TOMCTS)中选择的至少一种。
无机材料可以是从SiNx、SiOx、SiON、SiCN、TiOx、WOx、SiOxCy和SiOxCyHz中选择的至少一种。
第一层、第二层和第三层可以均形成在同一室中。
第一间隔和第三间隔中的每个可以是大约1μm至300μm。
第三间隔可以大于第二间隔。
第三间隔可以大于第一间隔,第一间隔可以大于第二间隔。
可以形成第三层和第一层使得第三层的边缘和第一层的边缘彼此接触,第三层和第一层可以包围(例如,包封或围绕)第二层。
第三层的宽度可以大于第一层的宽度,第三层可以在第一层的边缘处接触基底。
可以在掩模接触第一层的上表面时形成第二层。
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