[发明专利]一种高浓度氧化铈抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种高浓度氧化铈抛光液，其特征在于，所述抛光液为水悬浮液，为如下质量百分比的组分：

氧化铈40~60%，分散剂0.02~0.5%，稳定剂0.5~5%，增稠剂0.06~1%，螯合剂0.1~2%，润滑剂0.25~3%，杀菌剂0.05~0.5%，有机碱调节剂，余量为去离子水；

所述氧化铈颗粒大小为0.6-0.8μm；

所述分散剂为聚丙烯酸钠PAAS、聚丙烯酸铵PAA-NH₄、聚丙烯酸钾K-PAM其中一种；

所述稳定剂为纳米硅溶胶；

所述增稠剂为黄原胶与羧甲基纤维素钠CMC复配；

所述螯合剂为氨基三亚甲基膦酸四钠ATMP·4Na、羟基乙叉二膦酸四钠HEDP·4Na、乙二胺四亚甲基膦酸钠EDTMPS其中一种；

所述润滑剂为甘油；

所述有机碱调节剂为乙醇胺、三乙醇胺、乙二胺、羟乙基乙二胺AEEA、四甲基氢氧化铵其中一种。

2.一种如权利要求1所述的高浓度氧化铈抛光液的制备方法，其特征在于：

1）用甘油将黄原胶充分溶解备用；

2）用适量去离子水将CMC溶解备用；

3）用剩余去离子水分散氧化铈颗粒，得到悬浮液；

4）在机械搅拌下，依次将分散剂、稳定剂、螯合剂、杀菌剂、有机碱pH调节剂以及1）、2）所得增稠剂加入至氧化铈悬浮液中，搅拌均匀后即可得到氧化铈抛光液。