[发明专利]一种硅片切割液

权利要求书

1.一种硅片切割液，其包括如下质量百分比的各组分：

所述的分散剂是具有梳型结构的分散剂，是由TPEG或/和APEG聚醚单体与丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、丙烯酸酰胺、甲基丙烯酸酰胺聚合而成，结构式如下：

式中，R₁，R₂，R₃，R₄为-H或-CH₃；R₅为-CH₃或-CH₂CH₃；n为1-200的整数；a,b,c,d各为1-100的整数。

2.根据权利要求1所述的硅片切割液，其特征在于：所述嵌段聚醚的结构式为：

R(PO)_m(EO)_n(PO)_qH，

其中，R为OH或烷氧基，m为1～100的整数，n为1～100的整数，q为1～100的整数。

3.根据权利要求2所述的硅片切割液，其特征在于：所述的烷氧基为C₁-C₁₀烷氧基。

4.根据权利要求3所述的硅片切割液，其特征在于：所述的烷氧基为甲氧基、乙氧基或丙氧基。

5.根据权利要求2所述的硅片切割液，其特征在于：所述m和q的总和为10～70的整数，n为20～80的整数。

6.根据权利要求1所述的硅片切割液，其特征在于：所述的分散剂结构式中，n为5-100的整数；a,b,c,d各为1-50的整数。

7.根据权利要求6所述的硅片切割液，其特征在于：所述的分散剂结构式中，n为10-50的整数；a,b,c,d各为5-30的整数。

8.根据权利要求1-5任一项所述的硅片切割液，其特征在于：所述的润湿剂为磺化油、快速渗透剂T、硅醇类非离子表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种或几种的混合物；所述的抗氧化剂为抗坏血酸、二丁基羟基甲苯、茶多酚、吩噻嗪中的一种或几种的混合物；所述的防腐剂为异噻唑啉酮、苯甲酸钠、山梨酸、山梨酸盐、尼泊金酯类中的一种或几种的混合物；所述的消泡剂为有机硅消泡剂、聚醚改性硅油消泡剂、高碳醇消泡剂中的一种或几种的混合物。