[发明专利]一种离轴光束的像差校正方法有效
申请号: | 201710041148.3 | 申请日: | 2017-01-17 |
公开(公告)号: | CN106814452B | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 樊仲维;郭广妍;张鸿博;康治军;黄玉涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院;中科和光(天津)应用激光技术研究所有限公司 |
主分类号: | G02B27/00 | 分类号: | G02B27/00 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 李莎;李弘 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光束 校正 方法 | ||
1.一种离轴光束的像差校正方法,其特征在于,包括:
建立平面直角坐标系,使非平面反射元件的偏转方向与所述平面直角坐标系的单一方向对应;
根据非平面反射元件沿单方向的偏转角度,分别得出沿x方向和y方向的入射参数;
所述沿x方向和y方向的入射参数分别为:
其中α为非平面反射元件沿单方向的偏转角度;
根据所述入射参数计算得出沿x方向和y方向的近轴传输矩阵;
所述沿x方向和y方向的近轴传输矩阵分别为:
其中d1为入射距离,d2为出射距离,R为非平面反射元件的曲率半径;
根据所述近轴传输矩阵以及增设柱透镜后的出射平面的传输矩阵,得出增设柱透镜的焦距,使得x方向和y方向的输出光束相同。
2.根据权利要求1所述的离轴光束的像差校正方法,其特征在于,当所述非平面反射元件沿x方向偏转时,在y方向增设柱透镜。
3.根据权利要求1所述的离轴光束的像差校正方法,其特征在于,当所述非平面反射元件沿y方向偏转时,在x方向增设柱透镜。
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