[发明专利]电子部件运送装置、以及电子部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子部件运送装置、以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，公知有例如对IC器件等电子部件的电特性进行检查的电子部件检查装置。该电子部件检查装置一般具有：检查IC器件的检查部、以及具有用于将IC器件运送至检查部的运送部的电子部件运送装置。在上述电子部件检查装置中，为了使细致地配置的IC器件的外部端子准确地与检查部的测定端子抵接，需要IC器件的应用例如进行对中心等的对位机构。

作为这样的IC器件的对位机构的一个例子，例如专利文献1公开有，在吸附喷嘴(吸附部)吸附IC器件，利用与通过活塞驱动的扩开部件的动作连动而移动的爪部件对IC器件的四个侧面以直角按压，边进行定位(对中心)边保持的结构的定位用卡盘装置。

专利文献1：日本特开平5-48299号公报

然而，例如在专利文献1公开的以往的对位机构中，除了用于保持IC器件(电子部件)的吸附源，还需要进行IC器件(电子部件)的定位(对中心)的机构的例如活塞等驱动源。换言之，为了进行IC器件(电子部件)的定位(对中心)，必须使用复杂的机构。

另外，IC器件(电子部件)的形成中，在以切割槽(槽部)为起点而割断的情况下，有时在IC器件(电子部件)的侧面产生例如由突起状的毛刺(向外侧伸出的部分)、凹口(向内侧凹陷的部分)等引起的外形形状的错乱，由于该外形形状的错乱使IC器件(电子部件)的定位(对中心)困难。

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例而实现。

[应用例1]本应用例的电子部件运送装置的特征在于，具备：基部；保持部，其配置为能够相对于上述基部移动，并能够在电子部件的第1面保持上述电子部件；抵接部，其配置为能够相对于上述基部移动，并能够与上述电子部件的同上述第1面不同的第2面抵接，对上述抵接部而言，在上述保持部相对于上述基部沿第1方向移动时，能够向与上述第1方向不同的第2方向上对上述电子部件进行按压。

根据本应用例记载的电子部件运送装置，在保持部相对于基部沿第1方向移动时，抵接部在与第1方向不同的第2方向上对电子部件进行按压，由此能够通过简单的机构容易地进行电子部件的定位(对中心)。

[应用例2]在上述应用例记载的电子部件运送装置中，优选上述电子部件能够通过吸附被保持于上述保持部。

根据本应用例，能够容易地变更电子部件的吸附力。由此，能够通过抵接部的按压容易地使被保持的电子部件的位置移动，从而能够容易地进行定位(对中心)。

[应用例3]在上述应用例记载的电子部件运送装置中，优选上述电子部件的吸附以及上述保持部相对于上述基部的移动通过相同吸气源进行。

根据本应用例，电子部件的吸附、以及保持部相对于基部的移动通过相同吸气源进行，因此能够通过更简单的机构进行吸附和保持。

[应用例4]在上述应用例记载的电子部件运送装置中，优选上述抵接部配置为能够相对于上述基部转动。

根据本应用例，通过使抵接部相对于基部能够转动，能够通过简单的机构在第2方向上对电子部件进行按压。

[应用例5]在上述应用例记载的电子部件运送装置中，优选上述抵接部与上述保持部抵接，并与上述保持部的移动连动地转动。

根据本应用例，使保持部沿第1方向的移动成为抵接部的转动的驱动源，因此能够通过容易且简单的机构使保持部的移动与抵接部的转动连动。

[应用例6]在上述应用例记载的电子部件运送装置中，优选上述第2方向是与上述第1方向正交的方向。

根据本应用例，相对于电子部件的被保持的面，从正交的方向对电子部件进行按压，因此能够准确地进行电子部件的定位(对中心)。

[应用例7]在上述应用例记载的电子部件运送装置中，优选上述抵接部配置有多个，多个上述抵接部中的第1抵接部以及第2抵接部沿着第1移动方向相互向相反方向移动，对上述电子部件进行按压。

根据本应用例，多个抵接部分别沿着第1移动方向相互从相反方向对电子部件进行按压，因此能够容易且准确地进行电子部件的定位(对中心)。

[应用例8]在上述应用例记载的电子部件运送装置中，优选上述第1抵接部以及上述第2抵接部分别能够移动相同的移动量。

根据本应用例，能够通过各自相同的移动量的抵接部，准确地进行电子部件的定位(对中心)。