[发明专利]一种用于KDP晶体的油包酸性离子液体抛光液有效
| 申请号： | 201710017150.7 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN106811135B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 董会;潘金龙;王利利;王超;李晓媛;高伟;黄姝珂;吉方;王宝瑞 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 酸性离子液体 抛光液 微乳液 油包 化学机械抛光 助表面活性剂 表面活性剂 抛光 化学反应 表面粗糙度 分散相溶剂 选择性去除 表面凸起 反应特性 高选择性 晶体表面 摩擦作用 性质稳定 综合考虑 分散相 碱腐蚀 界面膜 无残留 有机酸 包覆 潮解 切刀 制备 挤压 兼容 削弱 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于KDP晶体的油包酸性离子液体抛光液，其特征在于：所述的抛光液各组分的质量百分比为：
油相：25%~60%；
分散相溶剂：10%~15%；
酸性离子液体：5%~15%；
表面活性剂：15%~45%；
助表面活性剂：5%~15%；
所述的油相为非极性有机溶剂，环己烷、正己烷、单油酸甘油酯、三油酸甘油酯或三辛酸甘油酯中的一种；
所述的分散相溶剂为乙醇、异丙醇或1-己基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐中的一种；
所述的酸性离子液体为双三氟甲磺酰亚胺、己内酰胺磷酸盐、N，N′-二甲基甲酰胺磷酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑硫酸氢盐或吡啶硫酸氢盐中的一种；
所述的表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯醚、烷基聚氧乙烯醚或脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种；
所述的助表面活性剂为正丁醇、正戊醇、正己醇或正辛醇中的一种。
2.根据权利要求1所述的用于KDP晶体的油包酸性离子液体抛光液，其特征在于：所述的抛光液的制备环境温度为20℃~25℃，相对湿度为30%~50%，气压为常压。
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