[发明专利]一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置

说明书

本发明实施例提供一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置，涉及纳米压印技术领域，该压印滚轮的滚轮体中充有气体且施压面为柔性材质，能够减小在压印的过程中，压印模板受压不均匀的问题。该纳米压印装置中的压印滚轮，包括滚轮轴以及套在滚轮轴上的滚轮体，该滚轮体包括：与滚轮轴连接的内侧面、用于与待压对象接触的施压面、以及连接内侧面和施压面的连接面，内侧面、连接面以及施压面构成的腔室中充有气体，施压面为柔性材质。

技术领域

本发明涉及纳米压印技术领域，尤其涉及一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置。

背景技术

随着半导体行业朝着不断缩小特征尺寸方向的发展，纳米压印技术(NanoimprintLithography，NIL)越来越受到人们的关注。相比于传统的光刻方法需要昂贵的光源和投影光学系统来形成图案而言，纳米压印通过对压印模板进行加压，即可实现图案的转移，使得成本大幅降低。

现有的纳米压印技术采用的装置一般包括气压式装置和滚压式装置。其中，对于气压式装置而言，需要较大的气压，尤其是针对大尺寸的电子产品而言，一般气压所需要压力达到3.5×10⁵N左右，才能完成压印模板上图案的转移，从而对设备的要求及安全性方面的要求极高，成本相对较大。对于滚压式装置而言，由于压辊(roller)采用刚性材料，且压印模板的表面或者下方经常会存在异物颗粒等不平整的凸起，从而使得在压印过程中，压印模板受压不均，在凸起位置因受压过大容易出现压印模板受损的现象。

发明内容

本发明的实施例提供一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置，该压印滚轮的滚轮体中充有气体且施压面为柔性材质，能够减小在压印的过程中压印模板受压不均匀的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例一方面提供一种纳米压印装置中的压印滚轮，包括滚轮轴以及套在所述滚轮轴上的滚轮体，所述滚轮体包括：与所述滚轮轴连接的内侧面、用于与待压对象接触的施压面、以及连接所述内侧面和所述施压面的连接面，所述内侧面、所述连接面以及所述施压面构成的腔室中充有气体，所述施压面为柔性材质。

进一步的，所述滚轮体所述内侧面、所述连接面以及所述施压面构成一体成型的气囊结构。

进一步的，所述连接面上设置有充气口。

进一步的，所述柔性材质为树脂或者橡胶。

进一步的，所述滚轮轴为轴芯，所述滚轮体可绕所述滚轮轴转动；或者，所述滚轮轴为轴承，所述滚轮体的所述内侧面与所述轴承的外圈固定连接。

进一步的，还包括：与所述轴芯连接或者所述轴承的内圈固定连接的支架，以及与所述支架可拆卸连接的压力件，所述压力件用于向所述滚轮轴施加重力方向上的力。

进一步的，所述压力件通过所述支架与所述滚轮轴的两个端部连接。

进一步的，所述压力件位于所述滚轮轴的上方，所述压力件平行于所述滚轮轴的方向。

进一步的，所述压力件的重心位于所述滚轮轴的中垂面上。

本方面实施例另一方面还提供一种纳米压印装置，包括上述任一种压印滚轮以及移动机构，所述移动机构与所述压印滚轮中的滚轮轴连接，以带动所述滚轮轴移动。