[发明专利]一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置

权利要求书

1.一种纳米压印装置中的压印滚轮，包括滚轮轴以及套在所述滚轮轴上的滚轮体，其特征在于，所述滚轮体包括：与所述滚轮轴连接的内侧面、用于与待压对象接触的施压面、以及连接所述内侧面和所述施压面的连接面，所述内侧面、所述连接面以及所述施压面构成的腔室中充有气体，所述施压面为柔性材质；

所述滚轮体所述内侧面、所述连接面以及所述施压面构成一体成型的气囊结构；

所述连接面上设置有充气口。

2.根据权利要求1所述的压印滚轮，其特征在于，所述柔性材质为树脂或者橡胶。

3.根据权利要求1-2任一项所述的压印滚轮，其特征在于，所述滚轮轴为轴芯，所述滚轮体可绕所述滚轮轴转动；或者，所述滚轮轴为轴承，所述滚轮体的所述内侧面与所述轴承的外圈固定连接。

4.根据权利要求3所述的压印滚轮，其特征在于，还包括：与所述轴芯连接或者所述轴承的内圈固定连接的支架，以及与所述支架可拆卸连接的压力件，所述压力件用于向所述滚轮轴施加重力方向上的力。

5.根据权利要求4所述的压印滚轮，其特征在于，所述压力件通过所述支架与所述滚轮轴的两个端部连接。

6.根据权利要求5所述的压印滚轮，其特征在于，所述压力件位于所述滚轮轴的上方，所述压力件平行于所述滚轮轴的方向。

7.根据权利要求6所述的压印滚轮，其特征在于，所述压力件的重心位于所述滚轮轴的中垂面上。

8.一种纳米压印装置，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的压印滚轮以及移动机构，所述移动机构与所述压印滚轮中的滚轮轴连接，以带动所述滚轮轴移动。