[发明专利]弹性装夹装置

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜，特别是一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置。

背景技术

薄膜技术在电子元器件、集成光学、电子技术、红外技术、激光技术以及航天技术和光学仪器等各个领域都得到了广泛的应用，它们不仅成为一门独立的应用技术，而且成为材料表面改性和提高某些工艺水平的重要手段。

镀膜过程将直接影响薄膜的质量，并将影响薄膜的性能，如功能性薄膜的热电、铁电和压电等性能，光学薄膜的光谱特性、抗激光损伤特性，薄膜的致密度、内应力、膜层均匀性、表面光洁度、基底与膜层的吸附力等性能。特别是应用于精密器件或精密仪器设备的薄膜元件，对镀膜过程的要求更加严格。

在镀膜过程中，基片尺寸难免会出现加工误差，如果基片夹具不能有效固定基片，将会产生固定松动或固定应力过大的情况，会严重影响到镀膜的稳定性，合适的基片夹具对镀膜过程至关重要。并且在镀膜过程中基片温度可能会发生较大的变化，由于基片与夹具的热膨胀系数不同，导致基片出现卡片、崩边等现象，某些镀膜过程中基片夹具会旋转、振动等，使基片产生相应的应力，消除这些应力将有效提高薄膜的稳定性和可靠性。

发明内容

本发明要解决的问题是镀膜过程中由于基片的加工误差及温度变化所导致的基片尺寸变化，从而产生应力导致的薄膜稳定性下降。提供一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，通过弹簧与夹具的组合，弹性的补偿由于长时间镀膜等带来的基片固定松动距离，使基片在镀膜中保持在夹具内固定不动，并有效补偿基片尺寸加工误差及温度变化产生的热膨胀尺寸变化，消除应力，提高所镀薄膜稳定性。

本发明的技术解决方案如下：

一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，其特点在于包括基片夹具、多个弹性固定块、盖板和螺栓，所述的基片夹具是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔，在空腔的内壁具有均匀分布的三个以上弹簧孔，腔壁的上端面具有一个以上螺孔，所述的弹性固定块由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端面具有与待镀膜基片嵌设的吻合的缺口，所述的弹性固定块通过弹簧置于所述的基片夹具内壁弹簧孔中，使所述的固定块的缺口朝下，所述的盖板成圆形，周边具有与所述的基片夹具的螺孔相对应的螺孔，所述的螺栓旋入所述的盖板的螺孔和所述的基片夹具的螺孔，将所述的盖板和所述的基片夹具构成一体。

本发明的技术效果：

1、本发明中弹性固定块的大小、形状易于加工和处理，弹簧的长度可以灵活改变，对不同大小、不同厚度的基片在基片装夹装置中进行有效固定。

2、本发明中通过弹性固定块与夹具的组合利用弹簧的弹性补偿在夹具移动过程中的固定误差，可以有效消除由于基片加工的直径误差、振动及镀膜过程温度变化产生的应力，使基片在夹具内固定不动，并能有效提高镀膜中的薄膜质量。

3、本夹具通用性强，可用于多种镀膜设备中的基片装夹，在弹性固定领域有着广泛的应用前景。

4、本发明设计简单，加工容易，徒手快速装卸基片装置简单，通用性强，使用方便，造价便宜，永久使用，易操作，具有极大的灵活性。

附图说明

图1为本发明弹性装夹装置实施例的爆炸图

图2为本发明弹性装夹装置未加盖子的装配立体图

图3为本发明弹性装夹装置未加盖子的俯视图

图4为基片夹具的俯视图

具体实施方式

先请参阅图1，图1是本发明弹性装夹装置实施例的爆炸图。从图可见，本发明用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，包括基片夹具1、多个弹性固定块3、盖板4和螺栓8，所述的基片夹具1是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔9，在空腔的内壁具有均匀分布的三个弹簧孔6，腔壁的上端面具有两个螺孔5，所述的弹性固定块3由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端面具有与待镀膜基片嵌设的吻合的缺口，所述的弹性固定块3通过弹簧置于所述的基片夹具1内壁弹簧孔6中，使所述的固定块的缺口朝下，所述的盖板4成圆形，周边具有与所述的基片夹具1的螺孔5相对应的螺孔7，所述的螺栓8旋入所述的盖板4的螺孔7和所述的基片夹具1的螺孔5，将所述的盖板4和所述的基片夹具1构成一体。

本发明弹性装夹装置结合结构图具体使用方法如下：