[发明专利]一种电光调制器

权利要求书

1.一种电光调制器，其特征在于，包括：输入波导，与所述输入波导连接的分束器，设置在所述分束器的每个分支上并用于调制信号的调制臂，还包括与所述分束器的每个分支连接并用于将信号合束的合束器，以及与所述合束器连接的输出波导；其中，每个调制臂对应设置有双层电极，所述双层电极中的第一层电极为用于改变所述调制臂中的载流子浓度的高频行波电极，第二层电极为具备电感功能的直流电极，且所述第二层电极中形成的电感中具有与所述高频行波电极相连接的电感；其中，

所述电光调制器具有硅衬底，设置在所述硅衬底上的埋层二氧化硅，以及设置在所述埋层二氧化硅上的调制器有源区硅波导和二氧化硅隔离层；

其中，还包括设置在所述输入波导一侧并与每个调制臂对应的电容；所述第二层电极设置在所述二氧化硅隔离层背离所述埋层二氧化硅的一面，所述第一层电极埋设在所述二氧化硅隔离层中，且所述第一层电极及第二层电极电连接；所述电容的一个电极设置在所述二氧化硅隔离层背离所述埋层二氧化硅的一面，另一个电极埋设在所述二氧化硅隔离层中；

所述二氧化硅隔离层设置有过孔，所述第一层电极及所述第二层电极通过填充在所述过孔内的金属连接。

2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，所述电光调制器具有调制器高频信号输入端，所述电容的一端与所述调制器高频信号输入端连接，所述电容的另一端与所述高频行波电极连接，且所述电容与所述第二层电极中的电感分别与所述高频行波电极连接并组成T型偏置器。

3.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，还包括加载在所述合束器的每个分支上的热电极。

4.如权利要求2或3所述的电光调制器，其特征在于，所述第二层电极包括与每个调制臂对应的调制器电感；每个调制器电感的一端连接有调制器直流信号输入端，另一端与所述高频行波电极连接。

5.如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，所述第二层电极还包括与每个调制臂对应的驱动器电感；每个驱动器电感的一端连接有驱动器直流信号输入端，另一端与所述电光调制器的调制器高频信号输入端连接。