[发明专利]反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法

说明书

反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括：以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1)；以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的与反射体(11M)相反的一侧连结的一对第二梁(11BL2、11BR2)。在第一梁(11BL1、11BR1)的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极(14)。第一梁(11BL1、11BR1)沿着与主表面交叉的方向能够相互向反方向位移。一对第二梁(11BL2、11BR2)在将第一梁(11BL1、11BR1)与第二梁(11BL2、11BR2)连结的沿着第二梁(11BL2、11BR2)的主表面的方向上能够位移。

技术领域

本发明涉及反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法，特别是涉及在信息通信或距离测量中使用的用于使入射光的反射方向及焦点位置变化的反射镜驱动装置。

背景技术

以往，已知有通过对反射镜进行支承的梁的弯曲变形而使反射镜的姿势及位移变化，使向反射镜入射的光的反射方向及焦点位置变化的反射镜驱动装置。例如在国际公开第2003/062899号(专利文献1)中，公开了在基板上形成有压电元件的光开关，该压电元件由反射镜元件、薄膜压电体、电极及弹性体构成。在此通过向电极施加电压而使薄膜压电体挠曲变形，并利用与之相伴的反射镜元件的绕旋转轴的旋转来驱动反射镜元件。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2003/062899号

发明内容

发明要解决的课题

在国际公开第2003/062899号的光开关中，通过变形吸收部来连接反射镜元件与弹性体。该光开关向多个薄膜压电体分别施加不同的电压而驱动反射镜元件。这种情况下，特别是如果载置薄膜压电体的梁与反射镜元件通过MEMS(Micro Electro MechanicalSystems，微机电系统)技术等而形成作为一体的构件，则在光开关的驱动时容易向反射镜元件施加应力，担忧存在反射镜元件的平面度下降的可能性。这是由配置在上述梁与反射镜元件之间并将两者连接的变形吸收部的作用引起的。如果反射镜元件的平面度下降，则存在使反射镜元件的反射光的特性下降的可能性。

本发明鉴于以上的问题而作出，其目的在于提供一种即使载置压电材料的梁与反射镜元件形成为一体，也能够降低该梁与反射镜元件之间的应力，抑制反射镜元件的平面度的下降的反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法。

用于解决课题的方案

本发明的反射镜驱动装置具备反射体和一对梁部。反射体能够对入射光进行反射。一对梁部在俯视观察下以夹着反射体的方式与反射体相连。一对梁部包括：以夹着反射体的方式与反射体直接相连的一对第一梁；以及与一对第一梁的与反射体相反的一侧连结的一对第二梁。在一对第一梁的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极。一对第一梁沿着与主表面交叉的方向能够相互向反方向位移。反射体与一对第一梁直接相连的第一交界部能够在与主表面交叉的方向上位移，一对第一梁的宽度比反射体的宽度小。一对第二梁能够在将一对第一梁与一对第二梁连结并沿着第二梁的主表面的方向上位移。能够向多个电极中的接近反射体的一侧的第一电极和与第一电极相邻的第二电极施加符号互为相反的电压。利用电压引起的压电材料的变形，反射体能够绕与连结反射体和一对第一梁的第一交界部而成的直线正交的轴倾斜。向一对第一梁中的一方的第一梁的第一电极和一对第一梁中的与一方不同的另一方的第一梁的第一电极施加绝对值相同而符号互为相反的电压。向一对第一梁中的一方的第一梁的第二电极和一对第一梁中的另一方的第一梁的第二电极施加绝对值相同而符号互为相反的电压。反射镜驱动装置配置有包括一对第一梁和一对第二梁的多个列。多个列包含的第一列与第二列在俯视观察下相互交叉地配置。