[发明专利]在透明片材上用于光学测量的系统和方法

权利要求书

1.用于测量透明样品片材的光透射和/或光反射性质的系统，所述系统包含检测组件和控制单元，其中所述检测组件包含

·积分球，其具有

o样品端口，

o照明端口；

o检测端口；

o位于所述照明端口处的内部光源；

o位于所述检测端口处并与光谱仪耦合的光检测器；以及

o检测辐射的装置，所述辐射要么直接来自于所述样品端口，要么来自于所述积分球的壁，或者直接来自于所述样品端口以及来自于所述积分球的壁二者；

·与所述样品端口轴向对齐的透射率检测器或外部光源；

·用所述内部光源或如果存在外部光源的话用所述外部光源或不采用光源照明的装置；

·参考标准物，以及用于将其放置在所述样品端口处且来自于所述样品端口的装置。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述积分球具有约160至300mm的直径，并且所述样品端口具有约40至60mm的直径。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其中所述内部光源和外部光源均包含机械快门，作为用所述内部光源或用所述外部光源或不采用光源照明的装置。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的系统，其中所述积分球仅包含一个光检测器和一个光谱仪。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的系统，其中所述系统包含检测直接来自于所述样品端口以及来自于所述积分球的壁二者的辐射的装置，其中所述装置包含一种用来测量来自于所述积分球的壁的辐射的光谱仪和光检测器，以及一种用来测量从所述样品端口反射的来自于所述积分球的辐射的光谱仪和光检测器；

所述系统包含与所述样品端口轴向对齐的透射率检测器并且无外部光源；

并且所述光检测器能够在使用期间同时测量来自于所述壁的辐射、从所述样品端口反射的辐射和经由所述样品端口透射的辐射。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的系统，其中所述积分球包含可移动的挡板，作为检测要么直接来自于所述样品端口要么来自于所述积分球的壁的辐射的装置。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的系统，其中每个光检测器具有准直器和可移动的快门，用于防止来自于所述积分球的辐射到达所述光检测器。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的系统，其中所述系统还包含具有至少两个臂的框架，所述样品片材可以被放置或运送在这两个臂之间来被测量，所述框架的第一臂携带所述积分球并且第二臂携带所述外部光源。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的系统，其中参考样品是硅片。

10.使用根据权利要求1-9中任一项所述的系统测量透明样品片材的光透射和/或反射性质的方法，所述方法包括如下步骤：

a1)记录使用所述外部光源情况下的光谱，在所述样品端口处没有任何样品，a2)记录使用所述外部光源情况下的光谱，在所述样品端口处放置有所述样品片材，a3)记录使用所述内部光源情况下的光谱，在所述样品端口处没有任何样品，并且a4)记录使用所述内部光源情况下的光谱，在所述样品端口处放置有所述样品片材；和/或如下步骤：

b1)记录使用所述内部光源情况下从所述样品端口直接反射的辐射的光谱，在所述样品端口处具有参考标准物，b2)记录使用所述内部光源情况下从所述样品端口直接反射的辐射的光谱，在所述样品端口处放置有所述样品片材，b3)记录使用所述内部光源情况下从所述壁反射的辐射的光谱，在所述样品端口处没有样品，并且b4)记录使用所述内部光源情况下从所述壁反射的辐射的光谱，在所述样品端口处放置有所述样品片材；以及如下的步骤：

c)由这些光谱计算透射率T和/或反射率R。