[发明专利]磁检测装置及其制造方法

权利要求书

1.一种磁检测装置，具有：基板，具有凹部；以及磁阻效应元件，设置于上述凹部的倾斜侧面，上述磁检测装置的特征在于，

上述凹部具有相互对置且随着趋向基板表面而对置间隔逐渐扩大的第1倾斜侧面和第2倾斜侧面，在上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面设置有磁阻效应元件，

上述磁阻效应元件具有：固定磁性层；自由磁性层；以及形成在上述固定磁性层与上述自由磁性层之间的非磁性中间层；

上述固定磁性层形成为自钉扎构造，该自钉扎构造具有第1强磁性层、与上述非磁性中间层相接的第2强磁性层、以及由上述两个强磁性层夹持的中间层，在上述第1强磁性层和上述第2强磁性层，磁化被反向平行地固定，

关于各个上述磁阻效应元件，由上述第2强磁性层的磁化的方向决定的灵敏度轴被设定为沿着上述倾斜侧面且朝上述基板的厚度方向倾斜，

上述磁阻效应元件中的、上述灵敏度轴的方向在上述基板的板厚方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成元件列，两列上述元件列并联连接而构成电桥电路，

上述凹部是设置在上述基板的至少两处的Z检测凹部，利用上述电桥电路检测上述基板的板厚方向即Z方向的磁，

上述磁检测装置中设置有：设置于上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面的磁阻效应元件的上述灵敏度轴均在上述基板的板厚方向朝向下方的上述Z检测凹部；以及设置于上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面的磁阻效应元件的上述灵敏度轴均在上述基板的板厚方向朝向上方的上述Z检测凹部，

设置于不同的上述Z检测凹部的上述第1倾斜侧面的、上述灵敏度轴的方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成第1元件列，

设置于不同的上述Z检测凹部的上述第2倾斜侧面的、上述灵敏度轴的方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成第2元件列，

上述第1元件列和上述第2元件列并联连接而构成上述电桥电路，

与上述Z检测凹部一起设置有水平检测凹部，

在一个上述Z检测凹部形成第1磁阻效应元件和第4磁阻效应元件，

在另一个上述Z检测凹部形成第2磁阻效应元件和第3磁阻效应元件，

在一个上述Z检测凹部的第1倾斜侧面设置的上述第1磁阻效应元件，与在另一个上述Z检测凹部的第1倾斜侧面设置的上述第2磁阻效应元件串联连接，

在一个上述Z检测凹部的第2倾斜侧面设置的上述第4磁阻效应元件，与在另一个上述Z检测凹部的第2倾斜侧面设置的上述第3磁阻效应元件串联连接。

2.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

上述固定磁性层的第1强磁性层与第2强磁性层的磁化的方向由磁场中成膜决定。

3.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

在所有的上述Z检测凹部，在设置于同一Z检测凹部的上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面的上述磁阻效应元件中，上述灵敏度轴的方向在上述基板的板厚方向上相互为相反方向。

4.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

作为上述凹部，与上述Z检测凹部一起设置有至少两处的上述水平检测凹部，

设置于上述水平检测凹部的上述磁阻效应元件中的、上述灵敏度轴的方向沿着上述基板表面相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成元件列，两列上述元件列并联连接而构成电桥电路，

利用上述电桥电路检测与上述基板表面平行的方向的磁。

5.根据权利要求4所述的磁检测装置，其中，

在所有的上述水平检测凹部，在设置于同一水平检测凹部的上述第1倾斜侧面的上述磁阻效应元件和设置于上述第2倾斜侧面的上述磁阻效应元件中，上述灵敏度轴沿着基板表面相互为相反方向。