[发明专利]分流系统

权利要求书

1.一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割出的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其特征在于，

该分流系统具有：

分支机构，其将单一流量分割为多个流量；以及

多个流体控制装置，该多个流体控制装置相互分离并独立且相对于所述分支机构独立地形成，对所述多个流量分别进行控制，

所述多个流体控制装置中的一个流体控制装置是主装置，余下的流体控制装置是从装置，

所述主装置具有通信部，该通信部向所述从装置发送基于所述设定流量比的设定流量值并接收所述从装置的流量检测值，

所述从装置具有通信部，该通信部自所述主装置接收所述设定流量值并向主装置发送所述流量检测值，

所述主装置和所述从装置分别具有基座部，该基座部划分出分割出的多个流量中的一个流量的流入口、流路以及流出口，所述基座部形成为块状，所述基座部在作为设置面的底面形成有所述流入口和流出口，

所述分支机构包括将单一流量分割为多个流量的第1块状接头构件，所述第1块状接头构件具有排列有多个开口的上表面，在该第1块状接头构件的内部形成有分别与所述多个开口相连通的多个分支流路和该多个分支流路共同连接的流路，所述多个各开口构成为能够与所述主装置及从装置的各流入口，以及上游侧的流体控制装置的流出口的任一个相连接，

所述主装置和从装置这两者的基座部通过紧固构件固定于所述第1块状接头构件，该主装置和从装置这两者的与底面的流入口相连通的流路连接于与该第1块状接头构件的上表面的开口相连通的流路。

2.根据权利要求1所述的分流系统，其特征在于，

所述主装置具有流量计算部，该流量计算部根据自外部赋予的所述设定流量比来分别计算所述多个流体控制装置的设定流量值。

3.根据权利要求2所述的分流系统，其特征在于，

所述流量计算部根据所述设定流量比、所述主装置的流量检测值以及经由所述主装置的通信部取得的所述从装置的流量检测值来改变赋予所述从装置的设定流量值。

4.根据权利要求1所述的分流系统，其特征在于，

在所述第1块状接头构件的上表面，所述多个开口沿长度方向排列成一列，所述共同流路在所述第1块状接头构件的内部沿长度方向延伸，

所述第1块状接头构件在所述多个开口的各自的所述长度方向的两侧，分别形成有供从上表面朝向底面延伸的所述紧固构件螺合的螺纹孔，

所述螺纹孔在所述共同流路的上方闭塞。

5.根据权利要求1所述的分流系统，其特征在于，

该分流系统还具有多个第2块状接头构件，该第2块状接头构件具有供所述主装置的基座部的底面和所述从装置的基座部的底面设置的上表面，所述基座部通过紧固构件固定于该第2块状接头构件，

所述第2块状接头构件具有在所述上表面开口的流路，该流路与所述主装置的底面的流出口或所述从装置的底面的流出口相连接。

6.一种流体控制系统，其特征在于，

该流体控制系统包括权利要求1的分流系统，其是使包括该分流系统的主装置和从装置的多种流体控制装置集成化而成的。

7.根据权利要求6所述的流体控制系统，其特征在于，

所述多种流体控制装置全部具有块状的基座部，该块状的基座部在作为设置面的底面形成有流路的开口。

8.根据权利要求6或7所述的流体控制系统，其特征在于，

在所述多种流体控制装置中包括对流体的流量进行测量并控制该流量的流量控制装置，

所述流量控制装置具有基座部，该基座部划分出分割出的多个流量中的一个流量的流入口、流路以及流出口，所述基座部形成为块状，所述基座部在作为设置面的底面形成有所述流入口和流出口。