[发明专利]半导体激光器有效
申请号: | 201680056018.0 | 申请日: | 2016-09-27 |
公开(公告)号: | CN108141010B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 斯文·格哈德;艾尔弗雷德·莱尔;克莱门斯·菲尔海利希;安德烈亚斯·莱夫勒;克里斯托夫·艾克勒 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01S5/042 | 分类号: | H01S5/042;H01S5/16;H01S5/32;H01S5/028;H01S5/323 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体激光器 | ||
1.一种半导体激光器(1),所述半导体激光器具有:
-半导体层序列(2),所述半导体层序列包括n型传导的n型区域(21)、p型传导的p型区域(23)和位于其之间的用于产生激光辐射的有源区(22),
-由透明导电氧化物构成的对于所述激光辐射能穿透的p型接触层(3),所述p型接触层用于将电流直接注入到所述p型区域(23)中,和
-导电的且金属的p型接触结构(4),所述p型接触结构直接处于所述p型接触层(3)处,
其中
-所述p型接触层(3)是用于引导所述激光辐射的外罩层的一部分,使得所述激光辐射在所述半导体激光器(1)运行时常规地进入到所述p型接触层(3)中,
-所述半导体层序列(2)具有两个棱面(25),所述棱面形成用于所述激光辐射的谐振器端面,
-在直接在所述棱面(25)中的至少一个棱面处的至少一个电流保护区域(5)中,禁止到所述p型区域(23)中的电流注入,
-所述电流保护区域(5)在垂直于所属的所述棱面(25)的方向上的扩展为至少0.5μm和最高100μm,并且附加地为用于所述激光辐射的谐振器长度的最高20%,并且
-在所述电流保护区域(5)中,仅部分地移除所述p型接触层(3)并且所述p型接触层(3)在所述电流保护区域(5)中连续地朝所述棱面(25)延伸,并且直接处于所述棱面(25)处的区域完全没有所述p型接触层(3),使得在所述电流保护区域(5)中,对于所述激光辐射的有效折射率在朝所属的所述棱面(25)的方向上下降。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在另外的电流保护区域(5)中,在所述p型接触层(3)和所述p型区域(23)之间存在电的绝缘层(6),其中所述绝缘层(6)具有最高为1μm的恒定的厚度。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在另外的电流保护区域(5)中,所述p型区域(23)直接在所述p型接触层(3)处改性,使得在所述电流保护区域(5)中,防止到所述p型区域(23)中的电流注入,或者使其降低至少10倍。
4.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在另外的电流保护区域(5)中,所述p型接触层(3)直接在所述p型区域(23)处改性,使得在所述电流保护区域(5)中,防止到所述p型区域(23)中的电流注入,或者使其降低至少10倍。
5.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在另外的电流保护区域(5)中,移除所述p型接触层(3)和/或所述p型接触结构(4)。
6.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在另外的电流保护区域(5)中,移除所述p型接触层(5),并且在所述另外的电流保护区域(5)中,至少一个附加层(63)直接施加在所述p型区域(23)上,其中所述附加层(63)是电绝缘的。
7.根据权利要求6所述的半导体激光器(1),
其中所述附加层(63)具有比所述p型区域(23)更高的比热导率。
8.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在另外的电流保护区域(5)中,所述p型区域(23)具有比在剩余地带中更大的厚度,并且所述p型接触层(3)从所述另外的电流保护区域(5)中移除,
其中所述p型接触层(3)在远离所述有源区(22)的方向上与处于所述另外的电流保护区域(5)中的所述p型区域(23)平接。
9.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在另外的电流保护区域(5)中,仅部分地移除所述p型接触层(3),使得在所述另外的电流保护区域(5)中,所述p型接触层(3)中对于所述激光辐射的有效折射率在朝所属的所述棱面(25)的方向上和/或在远离所述有源区(22)的方向上下降,
其中直接在所属的所述棱面(25)处完全地移除所述p型接触层(3)。
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