[发明专利]SEM影像取得装置及SEM影像取得方法

权利要求书

1.一种SEM影像取得装置，其在照射电子束至试料然后检测从试料放出或反射或被试料吸收的电子来取得影像，该SEM影像取得装置包括：

扫描信号产生装置，其产生扫描信号，该扫描信号为使在所述试料上扫描的所述电子束的扫描方向旋转，且照射到与试料上的同一区域且同一像素对应的该试料上的位置，并且所述扫描信号为用于使时脉的周期相同，或使时脉的周期增大，或使时脉的周期减小，而在既定的旋转方向依次扫描与试料上的同一区域内的所有像素对应的位置的信号，以使总扫描时间相同，或使总扫描时间增大，或使总扫描时间减小；

偏向装置，根据所述扫描信号产生装置所产生的扫描信号而使电子束照射到与试料上的同一区域且同一像素对应的位置；

检测暨放大装置，检测并放大来自于经所述偏向装置偏向而照射了电子束的试料上的同一区域且同一像素所对应的该试料上的位置的信号；以及

影像产生装置，根据所述检测暨放大装置所检测出并放大后的信号，产生照射于与试料上的同一区域且同一像素对应的该试料上的位置时的影像。

2.根据权利要求1所述的SEM影像取得装置，还包括：

根据所述检测暨放大装置所检测出并放大后的信号，将从不同的旋转方向以电子束扫描试料时之与该试料上的同一区域且同一像素对应的位置的多个影像予以合成的合成装置。

3.根据权利要求2所述的SEM影像取得装置，其中，所述合成装置为分别将相同旋转方向的多个影像及不同的多个旋转方向的多个影像予以合成。

4.根据权利要求1所述的SEM影像取得装置，其中，所述合成装置用于针对多个取得的影像，依与试料上的同一区域且同一像素对应的位置的各个信号(像素信号)进行合成。

5.根据权利要求2所述的SEM影像取得装置，其中，所述合成装置用于针对多个取得的影像，依与试料上的同一区域且同一像素对应的位置的各个信号(像素信号)进行合成。

6.根据权利要求3所述的SEM影像取得装置，其中，所述合成装置用于针对多个取得的影像，依与试料上的同一区域且同一像素对应的位置的各个信号(像素信号)进行合成。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的SEM影像取得装置，其中，各个所述信号(像素信号)的合成，为依各个信号(像素信号)进行加总或平均。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的SEM影像取得装置，其中，所述扫描信号产生装置所产生的扫描信号，用于使要让电子束的扫描方向旋转的方向至少为0°、(tan^-11/2)°、45°、(tan^-12)°、90°的方向，以及将上述的角度加减90°的整数倍而得的方向，且为在0°到360°的范围内或-180°到+180°的范围内的任一个或多个。

9.一种SEM影像取得方法，为在照射电子束至试料然后检测从试料放出或反射或被试料吸收的电子来取得影像的SEM影像取得方法，具有：

扫描信号产生步骤，产生扫描信号，该扫描信号使在所述试料上扫描的所述电子束的扫描方向旋转，且照射到与试料上的同一区域且同一像素对应的该试料上的位置，并且所述扫描信号为用于使时脉的周期相同，或使时脉的周期增大，或使时脉的周期减小，而在既定的旋转方向依次扫描与试料上的同一区域内的所有像素对应的位置的信号，以使总扫描时间相同，或使总扫描时间增大，或使总扫描时间减小；

偏向步骤，根据所述扫描信号产生步骤所产生的扫描信号而使电子束照射到与试料上的同一区域且同一像素对应的位置；

检测暨放大步骤，检测并放大来自于经所述偏向步骤偏向而照射了电子束的试料上的同一区域且同一像素所对应的该试料上的位置的信号；以及

影像产生步骤，根据所述检测暨放大步骤所检测出并放大后的信号，产生照射于与试料上的同一区域且同一像素对应的该试料上的位置之时的影像。

10.根据权利要求9所述的SEM影像取得方法，还具有：

合成步骤，根据所述检测暨放大步骤中检测出并放大后的信号，将从不同的旋转方向以电子束扫描试料时之与该试料上的同一区域且同一像素对应的位置的多个影像予以合成。