[发明专利]空调装置及其运转方法

说明书

提供空调装置，使用以可变运转频率进行运转的压缩机，能够使装置小型化、简洁化及节能化，而且能够高精度地将空气控制为期望的温度。空调装置(1)具有：冷却单元(10)，其具有以可变运转频率进行运转并能够调节转速的压缩机(11)、冷凝器(12)、膨胀阀(13)及冷却线圈(14)；以及加热单元(20)，其使从压缩机(11)向冷凝器(12)流出的热介质的一部分分支，并使该一部分热介质经由加热线圈(21)及其下游侧的加热量调节阀(22)而返回流入冷凝器(12)，利用冷却线圈(14)及加热线圈(21)来控制空气的温度。当加热量调节阀(22)的开度操作量在规定时间内大于第1阈值的情况下，使压缩机(11)的运转频率下降，当加热量调节阀(22)的开度操作量在规定时间内小于比第1阈值小的第2阈值的情况下，使压缩机11的运转频率提高。

技术领域

本发明涉及空调装置及其运转方法。

背景技术

利用空调装置严格地管理半导体制造设备中的洁净室的室内温度。例如，在设置有进行光致抗蚀剂的涂敷及显影的装置(涂敷机等)的洁净室中，有些情况下要求将室内温度控制在目标温度的+0.05℃～-0.05℃的误差范围内。作为能够应对这种洁净室的空调装置，以往提出了各种装置(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013－108652号公报

发明内容

发明要解决的问题

这种空调装置通常具有冷却单元和加热用加热器，该冷却单元是通过配管将压缩机、冷凝器、膨胀阀及冷却线圈按照该顺序进行连接而成的，以使热介质进行循环，作为冷却单元的压缩机，通常使用以固定的转速进行驱动的压缩机。这是因为，若是以固定的转速进行驱动的压缩机，则冷却单元内的热介质基本上会以固定的流量进行循环，因而容易高精度地进行空气的温度控制。

但是，在以固定的转速进行驱动的压缩机中，即使在温度控制对象的空气的温度低于目标温度、该空气的冷却不需要冷却能力的情况下，也始终以固定的转速进行驱动。因此，有时会无效地发生电耗，在节能化方面还有改善的余地。另外，冷却能力虽然可以通过膨胀阀等的开度调节而改变，但其可变范围比较小，也存在使用条件受制约的问题。

与此相对，在家庭用的空调装置中，通过对以可变运转频率进行运转并能够调节转速的压缩机进行变频控制来实现节能化的情况较多。在这种装置中，通过变更运转频率就能够在比较大的范围内调节冷却能力，因而可以说能够适用于各种使用条件。然而，冷却能力根据运转频率的变更而变动，因而不适合高精度的温度控制。因此，这种压缩机虽然具有节能等各种优点，但是在用于洁净室等的空调装置中极少采用。

本发明就是考虑到这种实际情况而完成的，其目的在于，提供空调装置及其运转方法，在空调装置中使用以可变运转频率进行运转并能够调节转速的压缩机，由此能够使装置小型化、简洁化及节能化，并实现使用条件的扩大，而且能够将温度控制对象的空气高精度地控制为期望的温度。

用于解决问题的手段