[发明专利]基板的检查方法、计算机存储介质以及基板检查装置

权利要求书

1.一种基板的检查方法，对通过多种不同的处理装置沿规定的搬送路径被反复处理的基板进行检查，该基板的检查方法包括以下工序：

第一摄像工序，对由所述多种不同的处理装置中的一个处理装置处理过并且被从所述一个处理装置搬出的基板的表面进行摄像来获取第一基板图像；

第二摄像工序，对成为过所述第一基板图像的摄像对象且在由所述一个处理装置处理后由与这一个处理装置不同的处理装置进一步处理过且被再次搬入所述一个处理装置的基板的表面进行摄像来获取第二基板图像；

缺陷判定工序，基于所述第一基板图像和所述第二基板图像进行缺陷检查，并判定基板有无缺陷；以及

缺陷原因确定工序，在从所述第二基板图像被检测出的缺陷从所述第一基板图像没有被检测到的情况下，将获取到所述第一基板图像之后且获取所述第二基板图像之前的处理确定为该缺陷的原因，在从所述第二基板图像被检测出的缺陷从所述第一基板图像也被检测到的情况下，将获取所述第一基板图像之前的处理确定为该缺陷的原因，

其中，所述第一摄像工序和第二摄像工序由设置在所述一个处理装置中的基板检查装置进行。

2.根据权利要求1所述的基板的检查方法，其特征在于，

将通过所述处理装置被反复处理时的所述多种不同的处理装置间的基板的搬送路径存储于搬送路径存储部；

将在所述缺陷判定工序和所述缺陷原因确定工序中检测到的缺陷的信息存储于缺陷信息存储部；

将所述缺陷信息存储部中存储的缺陷分类为多个种类；

生成将所述搬送路径存储部中存储的基板的搬送路径与分类出的所述缺陷的种类对应关联的缺陷判定表；以及

在之后的缺陷判定工序中检测到缺陷时，在所述缺陷原因确定工序中基于所述缺陷判定表来确定成为过缺陷产生的原因的处理装置。

3.根据权利要求2所述的基板的检查方法，其特征在于，

按重复的每个处理对同一基板进行所述缺陷判定工序，

在所述缺陷信息存储部中存储在对同一基板重复进行的所述缺陷判定工序中检测到的缺陷的信息。

4.一种计算机可读存储介质，保存有程序，该程序在作为控制基板处理系统的控制部的计算机上执行，以使得利用该基板处理系统执行对通过多种不同的处理装置沿规定的搬送路径被反复处理的基板进行检查的基板的检查方法，

所述基板的检查方法包括以下工序：

第一摄像工序，对由所述多种不同的处理装置中的一个处理装置处理过并且被从所述一个处理装置搬出的基板的表面进行摄像来获取第一基板图像；

第二摄像工序，对成为过所述第一基板图像的摄像对象且在由所述一个处理装置处理后由与这一个处理装置不同的处理装置进一步处理过且被再次搬入所述一个处理装置的基板的表面进行摄像来获取第二基板图像；

缺陷判定工序，基于所述第一基板图像和所述第二基板图像进行缺陷检查，并判定基板有无缺陷；以及

缺陷原因确定工序，在从所述第二基板图像被检测出的缺陷从所述第一基板图像没有被检测到的情况下，将获取到所述第一基板图像之后且获取所述第二基板图像之前的处理确定为该缺陷的原因，在从所述第二基板图像被检测出的缺陷从所述第一基板图像也被检测到的情况下，将获取所述第一基板图像之前的处理确定为该缺陷的原因，

其中，所述第一摄像工序和第二摄像工序由设置在所述一个处理装置中的基板检查装置进行。