[发明专利]元件处理器和视觉检测方法

权利要求书

1.一种视觉检测方法，其对于在表面形成多个球形形状的突出部(1a)的元件(1)，对多个所述突出部(1a)执行视觉检测，其特征在于，包括：

图像获取步骤，狭缝光相对于所述元件(1)的表面相对移动，所述狭缝光照射于所述元件(1)的表面，并且其第一入射角与所述元件(1)的表面形成0～90度的夹角，通过光三角法测定所述元件(1)表面上的高度的同时，将所述狭缝光照射的所述元件(1)的表面形成的第一图像获取；以及

狭缝光分析步骤，在所述图像获取步骤中获取的所述第一图像里，将高于预先设定像素值的领域设定为有效领域，在所述有效领域中指定所述突出部(1a)的顶点位置；

其中，所述狭缝光分析步骤包括计算照射于元件(1)表面上的狭缝光的幅度，将计算的狭缝光最大幅度的位置指定为突出部(1a)的顶点位置。

2.根据权利要求1所述的视觉检测方法，其特征在于，

所述突出部(1a)是球形终端。

3.根据权利要求1所述的视觉检测方法，其特征在于，

所述狭缝光是单色光。