[发明专利]光学式外观检查装置以及使用该装置的光学式外观检查系统

权利要求书

1.一种光学式外观检查装置，其特征在于：

包括：拍摄设备，其拍摄检查对象物；

处理设备，其使用所述拍摄设备所拍摄的拍摄图像，解析・判断所述检查对象物有无外观上的缺陷；

所述处理设备从所述拍摄设备获取所述拍摄图像的同时，针对从照射在所述检查对象物的光的强度不同的区域内分别选择多个行列的图像数据，解析颜色以及／或者明亮度的变化，判断所述检查对象物上有无各种外观上的缺陷。

2.根据权利要求1所述的光学式外观检查装置，其特征在于：

还包括：照明设备，其向所述检查对象物照射光；

所述处理设备解析的多个行列的图像数据是，从所述照明设备照射的区域内以及所述照明设备照射区域外的各个区域中选择的。

3.根据权利要求1所述的光学式外观检查装置，其特征在于：

还包括：照明设备，其向所述检查对象物照射光；

所述处理设备解析的多个行列的图像数据是，从所述照明设备照射光的区域的中心部分即照射中心区域、所述照明设备照射光的区域的轮廓区域、以及在所述轮廓区域附近所述照明设备光照射不到的非照射区域中至少2处以上的区域内选择的。

4.根据权利要求1所述的光学式外观检查装置，其特征在于：

还包括：照明设备，其向所述检查对象物照射光；

所述处理设备解析的多个行列的图像数据是，从向所述检查对象物照射的光的辉度最高的高辉度区域、该辉度发生剧烈变化的辉度变化区域、以及以比该辉度变化位置辉度更低且该辉度变化较稳定的低辉度稳定区域中至少2处以上的区域内选择的。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光学式外观检查装置，其特征在于：

所述处理设备解析的图像数据是，通过使所述拍摄设备扫描，获取在多个行列上分别拍摄到的多个线状图像，将其按照各自的行列进行结合并展开为多个面图像；

通过所述拍摄设备的1次扫描，获取所述处理设备的多个行列的图像数据。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光学式外观检查装置，其特征在于：

所述拍摄设备为在一定方向上扫描所述检查对象物的图像传感器相机；

所述处理设备解析的多个行列的图像数据为，在所述拍摄设备的扫描方向上不同的多个位置上，结合延伸至与所述扫描方向交叉方向上进行线状拍摄的图像而展开的面图像。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光学式外观检查装置，其特征在于：

所述拍摄设备包括：拍摄部，在排列在所述检查对象物扫描方向上的多个行列上进行拍摄；

图像处理部，针对所述拍摄部所拍摄的各个多个行列，在与扫描方向正交的方向的各个区域内比较颜色以及／或者亮度，并基于该比较提取出特定的行列区域，将其组合并合成1个行列的图像数据；

所述拍摄部在从所述检查对象物上所照射的光的强度不同的区域中分别选择各个多个行列上，在排列在所述检查对象物扫描方向上的多个行列上进行拍摄；

作为所述处理设备解析的多个行列的图像数据，使用分别由所述图像处理部所合成的1个行列的多个图像数据。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的光学式外观检查装置，其特征在于：

所述拍摄设备具备图像调整设备，其可使每个照射所述检查对象物的光强度不同的区域内具有不同的偏置值以及／或者增益值。

9.一种光学式外观检查系统，其特征在于：

采用权利要求1～8中任一项所述的光学式外观检查装置而构成的光学式外观检查系统，

还具备：检查对象移动设备，其将所述检查对象物载置并运送；

移送检测设备，其检测所述检查对象物通过所述检查对象移动设备的移动速度或移动距离；

所述处理设备所获取的拍摄图像与基于所述移送检测设备所获取的移动速度或移动量而计算出的拍摄位置相关联。

10.根据权利要求9所述的光学式外观检查系统，其特征在于：

所述检查对象物移动设备包括保持设备，其吸引载置并运送的所述检查对象物或者推压所述检查对象物；

在所述检查对象物移动设备的检查对象物的移动路径上，包括厚度检测设备，其用于检测所述检查对象物的厚度；

所述处理设备基于所述厚度检测设备的检测值，检测厚度不良的情况。