[实用新型]一种卷对卷柔性共蒸镀设备有效
| 申请号： | 201621466232.7 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN206273839U | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 任宇航;詹华昭;陈辉;罗明新 | 申请（专利权）人： | 浙江尚越新能源开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所33235 | 代理人： | 龙湖浩 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 共蒸镀 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种卷对卷柔性共蒸镀设备，包括卷绕系统和蒸镀系统，所述卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊，在放卷辊和收卷辊之间安装待蒸镀的基体，所述蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源，其特征在于：所述蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件，所述挡板组件包括挡板以及水平移动机构，所述水平移动机构水平连接挡板，水平移动机构、温度传感器、加热源分别电连接控制器，所述控制器电连接操作平台。
2.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述水平移动机构为伺服气缸，所述伺服气缸的输出端水平连接挡板一侧。
3.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述操作平台包括显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器，所述显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器分别电连接控制器。
4.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀基台下表面呈向下的圆弧形。
5.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀腔有多个，多个蒸镀腔呈与蒸镀基台下表面相配合的圆弧形排布。
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