[实用新型]一种高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电阻生产技术领域，具体涉及一种高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置。

背景技术

铬硅薄膜电阻是以铬和硅为主成分的薄膜高阻材料。具有电阻率高、稳定性好、电阻温度系数小等特点。控制硅化物结构，可得到各种电性能材料。如随铬增加，电阻率下降，电阻温度系数可从负数逐渐变到正值，一般方阻3～5kΩ，电阻温度系数(100～150)×10-6/℃。采用溅射、电子束蒸发、真空蒸镀等方法制取，主要用于制作薄膜混合集成电路中的薄膜电阻器。电阻器在日常生活中一般直接称为电阻。是一个限流元件，将电阻接在电路中后，电阻器的阻值是固定的一般是两个引脚，它可限制通过它所连支路的电流大小。阻值不能改变的称为固定电阻器。阻值可变的称为电位器或可变电阻器。理想的电阻器是线性的，即通过电阻器的瞬时电流与外加瞬时电压成正比。用于分压的可变电阻器。在裸露的电阻体上，紧压着一至两个可移金属触点。触点位置确定电阻体任一端与触点间的阻值。端电压与电流有确定函数关系，体现电能转化为其他形式能力的二端器件，用字母R来表示，单位为欧姆Ω。实际器件如灯泡，电热丝，电阻器等均可表示为电阻器元件。电阻元件的电阻值大小一般与温度，材料，长度，还有横截面积有关，衡量电阻受温度影响大小的物理量是温度系数，其定义为温度每升高1℃时电阻值发生变化的百分数。电阻的主要物理特征是变电能为热能，也可说它是一个耗能元件，电流经过它就产生内能。电阻在电路中通常起分压、分流的作用。对信号来说，交流与直流信号都可以通过电阻。电阻的生产需要经过多道生产工序才能完成，而工作台则是一些生产工序中必不可少的生产工序。现有的电阻生产用工作台结构复杂，安装使用繁琐，不便于调节，对操作者要求较高，且稳定性不佳，长时间使用后容易出现位置偏差，影响使用效果。在专利号为CN201320185885的专利文件中，公开了一种电阻生产用可调工作台，包括有底座和滑台，底座开有截面呈倒T形的滑槽，滑台下端两侧凸出有安装耳，安装耳内竖直穿有锁紧螺栓，锁紧螺栓下端螺合有倒T形滑块，倒T形滑块滑动配合在滑槽内。本实用新型结构简单合理，安装使用方便，采用滑台与底座通过倒T形滑块和滑槽相配合的设计，有效地方便了对工作台的调节操作，且稳定性较好，长时间使用后也不易出现位置偏差，有效地保证了使用效果。

上述专利文件采用滑台与底座通过倒T形滑块和滑槽相配合的设计，有效地方便了对工作台的调节操作，且稳定性较好，长时间使用后也不易出现位置偏差。但是对于如何提供一个结构简单，功能齐全，可自带散热、可自带减震功能的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置缺少技术性解决方案。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，用于解决如何提供一个结构简单，功能齐全，可自带散热、可自带减震功能的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置的问题。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，包括工作台和支撑杆，还包括减震部分和散热部分，所述减震部分包括主减震弹簧、缓冲弹簧、滑动安装头和支撑台，所述支撑杆包括上端支撑杆和下端支撑杆，所述上端支撑杆设置在所述工作台底部顶角位置，所述滑动安装头套接在所述上端支撑杆上，所述下端支撑杆一端设置在地面上、另外一端与所述支撑台相连，所述主减震弹簧一端与所述上端支撑杆相连、另外一端与所述下端支撑杆相连，所述缓冲弹簧一端与所述滑动安装头相连、另外一端与所述支撑台相连，所述散热部分包括散热槽和水冷管道，所述散热槽设置在所述工作台底部中心位置，所述水冷管道设置在所述散热槽内，所述水冷管道通过水阀与冷水池相连通并构成完整回路。

优选的，所述滑动安装头包括滑动套壳和支撑板，所述支撑板设置在所述滑动套壳的外部边缘。

优选的，所述缓冲弹簧一端通过弹簧安装头与所述支撑板相连、另外一端通过弹簧安装头与所述支撑台相连。

优选的，所述散热槽的深度等于所述工作台厚度的一半。

优选的，所述滑动套壳的长度小于所述上端支撑杆的长度，所述滑动套壳的内径等于所述上端支撑杆的直径。

优选的，所述缓冲弹簧以支撑台圆心为中心点圆形分布在所述支撑台上。

优选的，所述缓冲弹簧的长度大于支撑台与所述支撑板之间的最大距离。

优选的，所述主减震弹簧的劲度系数大于所述缓冲弹簧的劲度系数。

本实用新型的有益效果为：