[实用新型]一种高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置

权利要求书

1.一种高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，包括工作台和支撑杆，其特征在于：包括减震部分和散热部分，所述减震部分包括主减震弹簧、缓冲弹簧、滑动安装头和支撑台，所述支撑杆包括上端支撑杆和下端支撑杆，所述上端支撑杆设置在所述工作台底部顶角位置，所述滑动安装头套接在所述上端支撑杆上，所述下端支撑杆一端设置在地面上、另外一端与所述支撑台相连，所述主减震弹簧一端与所述上端支撑杆相连、另外一端与所述下端支撑杆相连，所述缓冲弹簧一端与所述滑动安装头相连、另外一端与所述支撑台相连，所述散热部分包括散热槽和水冷管道，所述散热槽设置在所述工作台底部中心位置，所述水冷管道设置在所述散热槽内，所述水冷管道通过水阀与冷水池相连通并构成完整回路。

2.根据权利要求1所述的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，其特征在于：所述滑动安装头包括滑动套壳和支撑板，所述支撑板设置在所述滑动套壳的外部边缘。

3.根据权利要求1或2所述的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，其特征在于：所述缓冲弹簧一端通过弹簧安装头与所述支撑板相连、另外一端通过弹簧安装头与所述支撑台相连。

4.根据权利要求1所述的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，其特征在于：所述散热槽的深度等于所述工作台厚度的一半。

5.根据权利要求1或2所述的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，其特征在于：所述滑动套壳的长度小于所述上端支撑杆的长度，所述滑动套壳的内径等于所述上端支撑杆的直径。

6.根据权利要求1所述的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，其特征在于：所述缓冲弹簧以支撑台圆心为中心点圆形分布在所述支撑台上。

7.根据权利要求1或2所述的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，其特征在于：所述缓冲弹簧的长度大于支撑台与所述支撑板之间的最大距离。

8.根据权利要求1所述的高精度稳定铬硅薄膜电阻生产装置，其特征在于：所述主减震弹簧的劲度系数大于所述缓冲弹簧的劲度系数。