[实用新型]蓝宝石晶棒检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于晶棒检测技术领域，尤其涉及一种蓝宝石晶棒检测装置。

背景技术

在对蓝宝石晶棒的品质进行检测时，多是检测其是否有气泡，还包括应力、晶界和不圆度的检测；目前常用的蓝宝石晶棒检测方法多是采用人工检测+机器辅助的方法。在对气泡进行检测时，一般是把待检测蓝宝石晶棒拿到暗室里，用绿色激光笔或者强光白色手电照射晶棒一端，在晶棒侧面观察是否有气泡、云雾等。对应力和晶界进行检测时，通常的做法是把蓝宝石晶棒一端精磨，精磨的一端朝上放置在应力仪上，通过观察应力仪上的马耳他十字图案，来判断应力的好坏；同时，通过观察是否有“猫抓印”的图案存在，来判断是否存在晶界，但是这些特征都不是很明显，需结合观察者的经验来作出判断。

上述检测方法效率低，检测误差大，检测结果要受到很多人为因素影响。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种蓝宝石晶棒检测装置，旨在提供一种集气泡、应力和晶界检测于一体的自动化检测装置。

本实用新型提供了一种蓝宝石晶棒检测装置，包括：外容器、晶棒台、镜头、第一CCD相机单元；

所述晶棒台作为载物台贯穿所述外容器的底端，所述晶棒台为中空且与待检测蓝宝石晶棒接触面为透明状，内嵌有平行光源及沿所述平行光源发出的平行光方向的起偏镜，待检测蓝宝石晶棒置于所述晶棒台上；所述镜头固定在所述外容器上方，所述镜头内部设置有激光器，所述镜头底端设置有检偏镜；

所述平行光源发出的光经过所述起偏镜成为偏振光，所述偏振光照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，带有检偏镜的所述镜头用于采集经过所述蓝宝石晶棒的偏振光，得到包含有所述蓝宝石晶棒的应力和晶界形状的图像信息；

所述第一CCD相机单元设置于所述外容器四周，所述外容器四周安装有移动装置，可通过所述移动装置带动所述第一CCD相机单元同时沿所述外容器的高度方向运动；

所述镜头内置的激光器发射出预置波长的激光，照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，所述第一CCD相机单元用于通过沿所述外容器的高度方向运动来扫描所述蓝宝石晶棒，得到包含有所述蓝宝石晶棒的气泡的图像信息。

进一步地，所述蓝宝石晶棒检测装置还包括第二CCD相机单元，所述第二CCD相机单元包括2个CCD相机，所述2个CCD相机以预置高度固定于所述外容器上方，并分布于所述镜头两侧；

所述平行光源发出的光经过所述起偏镜成为偏振光，所述偏振光照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，所述2个CCD相机用于采集经过所述蓝宝石晶棒的偏振光，得到包含有所述蓝宝石晶棒的晶界位置的图像信息。

进一步地，所述外容器呈透明状，内装有冬青油。

进一步地，所述预置波长的激光为514nm的激光。

进一步地，所述第一CCD相机单元包括3个CCD相机，其中，任2个CCD相机的中心点分别与所述外容器中心轴上的特定点连接，所成的夹角为120度；

所述外容器中心轴上的特定点为所述3个CCD相机所在平面与所述外容器中心轴的交点；

所述晶棒台可旋转，通过所述移动装置带动所述3个CCD相机沿所述外容器的高度方向运动，并扫描所述蓝宝石晶棒，所述3个CCD相机从上端运动到下端后，旋转所述晶棒台，通过所述移动装置继续带动所述3个CCD相机重复运动，直至扫描完所述蓝宝石晶棒，得到包含有所述蓝宝石晶棒的气泡的图像信息。

进一步地，所述晶棒台内嵌有全波片或1/4波片，所述平行光源发出的平行光经过所述起偏镜后变为偏振光，并经过所述全波片或1/4波片滤波后，照射到所述待检测蓝宝石晶棒上。

本实用新型与现有技术相比，有益效果在于：本实用新型提供了一种蓝宝石晶棒检测装置，利用带有检偏镜的镜头扫描待检测蓝宝石晶棒，得到包含有所述待检测蓝宝石晶棒的应力和晶界形状的图像信息；利用第一CCD相机单元扫描待检测蓝宝石晶棒，得到包含有所述待检测蓝宝石晶棒的气泡的图像信息，利用软件对所述图像信息进行整合，得到集待检测蓝宝石晶棒的应力情况、晶界形状和气泡分布于一体的三维图；能够从所述三维图中更简便、准确的判断晶棒品质，大大的减少了人为因素对检测结果的影响，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种蓝宝石晶棒检测装置的示意图。

具体实施方式