[实用新型]蓝宝石晶棒检测装置

权利要求书

1.一种蓝宝石晶棒检测装置，其特征在于，包括：外容器、晶棒台、镜头、第一CCD相机单元；

所述晶棒台作为载物台贯穿所述外容器的底端，所述晶棒台为中空且与待检测蓝宝石晶棒接触面为透明状，内嵌有平行光源及沿所述平行光源发出的平行光方向的起偏镜，待检测蓝宝石晶棒置于所述晶棒台上；所述镜头固定在所述外容器上方，所述镜头内部设置有激光器，所述镜头底端设置有检偏镜；

所述平行光源发出的光经过所述起偏镜成为偏振光，所述偏振光照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，带有检偏镜的所述镜头用于采集经过所述蓝宝石晶棒的偏振光，得到包含有所述蓝宝石晶棒的应力和晶界形状的图像信息；

所述第一CCD相机单元设置于所述外容器四周，所述外容器四周安装有移动装置，可通过所述移动装置带动所述第一CCD相机单元同时沿所述外容器的高度方向运动；

所述镜头内置的激光器发射出预置波长的激光，照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，所述第一CCD相机单元用于通过沿所述外容器的高度方向运动来扫描所述蓝宝石晶棒，得到包含有所述蓝宝石晶棒的气泡的图像信息。

2.如权利要求1所述的蓝宝石晶棒检测装置，其特征在于，所述蓝宝石晶棒检测装置还包括第二CCD相机单元，所述第二CCD相机单元包括2个CCD相机，所述2个CCD相机以预置高度固定于所述外容器上方，并分布于所述镜头两侧；

所述平行光源发出的光经过所述起偏镜成为偏振光，所述偏振光照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，所述2个CCD相机用于采集经过所述蓝宝石晶棒的偏振光，得到包含有所述蓝宝石晶棒的晶界位置的图像信息。

3.如权利要求1-2任一项所述的蓝宝石晶棒检测装置，其特征在于，所述外容器呈透明状，内装有冬青油。

4.如权利要求3所述的蓝宝石晶棒检测装置，其特征在于，所述预置波长的激光为514nm的激光。

5.如权利要求4所述的蓝宝石晶棒检测装置，其特征在于，所述第一CCD相机单元包括3个CCD相机，其中，任2个CCD相机的中心点分别与所述外容器中心轴上的特定点连接，所成的夹角为120度；

所述外容器中心轴上的特定点为所述3个CCD相机所在平面与所述外容器中心轴的交点；

所述晶棒台可旋转，通过所述移动装置带动所述3个CCD相机沿所述外容器的高度方向运动，并扫描所述蓝宝石晶棒，所述3个CCD相机从上端运动到下端后，旋转所述晶棒台，通过所述移动装置继续带动所述3个CCD相机重复运动，直至扫描完所述蓝宝石晶棒，得到包含有所述蓝宝石晶棒的气泡的图像信息。

6.如权利要求5所述的蓝宝石晶棒检测装置，其特征在于，所述晶棒台内嵌有全波片或1/4波片，所述平行光源发出的平行光经过所述起偏镜后变为偏振光，并经过所述全波片或1/4波片滤波后，照射到所述待检测蓝宝石晶棒上。