[实用新型]一种实现同步对向运动的机械装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种实现同步对向运动的机械装置。

背景技术

随着对光刻机前道照明系统的积分均匀性要求越来越高，而且当照明模式、相干因子等改变时，前道照明系统的积分均匀性会发生一定的变化，为了保证所有照明模式的积分均匀性都满足前道照明系统需要，要增加积分均匀性补偿系统来补偿积分均匀性。

在常见的积分均匀性补偿系统中，采用两片透过率不同的光学元件的同步对向运动来补偿积分均匀性的积分均匀性补偿系统较为常见。因此，上述积分均匀性补偿系统中的两片光学元件对向运动的运动精度、运动分辨率、运动可靠性及同步性误差均影响着积分均匀性的补偿效果。

请参见图1，目前普遍使用的一种同步对向运动机构，包括两套导向杆驱动机构1，依靠两套所述导向杆驱动机构1实现两个光学元件2的对向运动，一套所述导向杆驱动机构1控制一片光学元件2，通过分别控制两套所述导向杆驱动机构1来实现两片光学元件2的同步运动，所述同步对向运动机构的结构和控制方法均较为复杂，生产及使用的成本高，且由于采用两套导向杆驱动机构1，输出的对向运动的同步性误差较大，为了保证所述同步对向运动机构的运动精度和输出的对向运动的同步性，所述同步对向运动机构中各零件的加工精度及各组件的装配精度要求都较高，进一步增加了生产成本。

因此，如何提供一种能够改善传统同步对向运动机构生产成本高且输出的同步对向运动同步性误差大的可实现同步对向运动的机械装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种可实现同步对向运动的机械装置，用以解决传统的同步对向运动机构生产成本高、运动精度低，且输出的同步对向运动同步性误差大的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种实现同步对向运动的机械装置，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。

作为优选，所述第一光学元件设置在第一固定板上，通过第一固定板连接所述同步对向运动输出机构。

作为优选，所述第二光学元件设置在第二固定板上，通过第二固定板连接所述同步对向运动输出机构。

作为优选，所述左右旋丝杠通过设置在所述底座上的联轴器连接所述电机。

作为优选，所述左右旋丝杠包括丝杆以及设置在所述丝杆上的左旋螺母和右旋螺母，所述丝杠上设有左旋螺纹和右旋螺纹，所述第一光学元件连接所述左旋螺母，所述左旋螺母与所述左旋螺纹匹配连接，所述第二光学元件连接所述右旋螺母，所述右旋螺母与所述右旋螺纹匹配连接。

作为优选，所述第一光学元件与所述左旋螺母之间通过左连接机构连接，所述左连接机构包括左连接导轨和左连接支架，所述左连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上，所述左连接支架设置在所述左连接导轨的滑块上，且所述左连接支架一端连接所述左旋螺母，另一端连接所述第一光学元件；

所述第二光学元件与所述右旋螺母之间通过右连接机构连接，所述右连接机构包括右连接导轨和右连接支架，所述右连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上，所述右连接支架设置在所述右连接导轨的滑块上，且所述右连接支架一端连接所述右旋螺母，另一端连接所述第二光学元件。

作为优选，所述实现同步对向运动的机械装置还包括多个第一支撑机构和多个第二支撑机构，所述多个第一支撑机构设置在所述底座上并连接所述第一光学元件，所述多个第二支撑机构设置在所述底座上并连接所述第二光学元件。

作为优选，所述第一支撑机构包括第一支撑导轨和第一支撑支架，所述第一支撑导轨平行所述左右旋丝杠组件设置，所述第一支撑支架设置在所述第一支撑导轨的滑块上并连接所述第一光学元件；

所述第二支撑机构包括第二支撑导轨和第二支撑支架，所述第二支撑导轨平行所述左右旋丝杠组件设置，所述第二支撑支架设置在所述第二支撑导轨的滑块上并连接所述第二光学元件。

作为优选，所述第一光学元件与所述左旋螺母之间通过左连接支架连接，所述左连接支架连接多个所述第一支撑支架中与其位置相对应的第一支撑支架；所述第二光学元件与所述右旋螺母之间通过右连接支架连接，所述右连接支架连接多个所述第二支撑支架中与其位置相对应的第二支撑支架。