[实用新型]一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置

说明书

技术领域

本实用新型是关于单晶硅棒滚磨领域，特别涉及一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置。

背景技术

在半导体行业和太阳能行业中，单晶炉生产出的单晶硅棒加工成切片棒料多使用滚磨机，但是相应的滚磨机型号可供选择的的范围并不是很广，现在各大光伏公司所采用的滚磨机共分为两种，其一是由以前的磨床所改造而成的，成本低廉，对中相对较容易，如江西赛维LDK太阳能高科技有限公司以及天龙光电的单晶硅棒滚磨机，其机床需要纯手工操作，操作繁琐，集成度不高，其二是将滚圆机集成到单晶硅加工的其他加工工序中去，如北京京联发数控科技有限公司，其机床是QGM600-8XB单晶硅棒切方滚磨机床是在硅单晶棒滚磨机上开发而成，虽然有一定的集成度，但是与前面第一种一样不能配套工业机械手工作，为以后自动化生产升级造成了极大地不便大部分情况下，他们都是只适用于唯一尺寸的棒料，然而对于2、3、4、5、6、8寸的单晶硅棒，多尺寸且表面不规整造成棒料加工起来却变得极为困难，加工范围小且精度不稳定。

而造成上述加工难度主要是由单晶硅棒上料时对中造成的难题，因此开发一种能解决上料对中问题的机械手装置，市场前景看好，更能够为以后的相关研发提供一个更好的借鉴作用。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种既能省时省力，又能降低成本的滚磨机对中设备。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置，包括水平移动组件、竖直移动组件，所述水平移动组件包括水平底座、水平进给电机、调整固定块、水平尾端轴承座、滑块安装板、水平导轨、滑块、丝杆；水平导轨安装水平底座上，滑块设有四个，分别固定在滑块安装板的四角，且滑块安装在水平导轨上；竖直移动组件固定在滑块安装板上，水平进给电机通过装有丝杆的水平尾端轴承座固定在滑块安装板上，水平进给电机旋转带动丝杆转动，能使得滑块随着滑块安装板的移动而移动，从而实现竖直移动组件的水平前后移动；调整固定块用于在竖直移动组件安装在水平移动组件上时起到调整位置的作用；

所述竖直移动组件包括竖直导轨座、电机座组件、机械手爪，用于确保单晶硅棒与机床工作时的运动线路同轴；

所述竖直导轨座安装在水平移动组件的滑块安装板上，竖直导轨座为框架结构(竖直导轨座为安装竖直移动组件各零件的框架结构，材料采用的是HT300)，竖直导轨座的正面装有两段长导轨；

所述电机座组件包括竖直电机座、上夹紧丝杆、下夹紧丝杆、夹紧丝杆联轴器、竖直运动电机、丝杆端盖、联轴器；上夹紧丝杆、下夹紧丝杆通过夹紧丝杆联轴器连接，再通过联轴器、竖直运动电机连接固定在竖直电机座上，下夹紧丝杆的尾端装有丝杆端盖；且上夹紧丝杆、下夹紧丝杆旋向相反，用于保证对中上手爪、对中下手爪同步反方向运行；

所述机械手爪包括对中上手爪、对中下手爪、上手爪滑块安装座、下手爪滑块安装座；对中上手爪通过螺钉固定在上手爪滑块安装座上，对中下手爪通过螺钉固定在下手爪滑块安装座上；所述上手爪滑块安装座的底部装有两个滑块，两个滑块分别安装在竖直移动组件的对应一条长导轨上，且两个滑块分别位于长导轨的上半部分；所述下手爪滑块安装座底部安装有四个滑块，且四个滑块两两相对各安装在竖直移动组件的一条长导轨上，且四个滑块位于长导轨的下半部分；所述对中上手爪、对中下手爪的爪心分别设有两个对应的V形槽，即前段小V形槽和后段大V形槽；对中上手爪、对中下手爪分别通过上夹紧丝杆、下夹紧丝杆传递动力，进而使对中上手爪的小V形槽、大V形槽与对中下手爪的小V形槽、大V形槽能配合夹持不同规格单晶硅棒；对中下手爪的爪心上还设有梳齿，并与上料台(上料台为单晶硅棒滚磨机的一个子部件，并不属于本对中机械手装置内)上的梳齿互相交错，能够将单晶硅棒从上料台转移到对中下手爪的V形槽内。

作为进一步的改进，所述机械手爪上的V形槽是由V形结构下方开出一个小方槽形成，小V形槽适用于2、3、4、5英寸直径的单晶硅棒夹持对中，大V形槽适用于6、8英寸直径的单晶硅棒夹持对中。

作为进一步的改进，所述电机座组件的下端装有竖直缓冲垫，防止机械手爪上下进给时与竖直导轨座发生碰撞。

作为进一步的改进，所述用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置还包括水平集中供油块、竖直集中供油块，水平集中供油块用于为水平的滑块提供润滑油，竖直集中供油块用于为竖直的滑块提供润滑油。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：