[实用新型]封闭式温度调节装置有效
| 申请号： | 201621300563.3 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206262577U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张一帆;李莹;童炜 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01L7/00 | 分类号： | B01L7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 封闭式 温度 调节 装置 | ||
1.一种封闭式温度调节装置，包括加温风罩以及连接管，所述加温风罩为一端开口的壳体，所述壳体上开设有一连接孔，所述连接管的一端与所述连接孔连通，所述连接管的另一端靠近所述开口，其特征在于，还包括一具有多个喷气孔的盘状喷头，所述盘状喷头设置于所述加温风罩内并与所述连接管的另一端连通。
2.如权利要求1所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述盘状喷头为圆盘状结构。
3.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述封闭式温度调节装置还包括一连接件，所述盘状喷头通过所述连接件与所述连接管的另一端连通。
4.如权利要求3所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述盘状喷头与所述连接件是一体成型的。
5.如权利要求3所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述连接件套设于所述连接管上。
6.如权利要求3所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述连接件与所述连接管通过内锁螺丝固定。
7.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述盘状喷头上的多个喷气孔呈同心圆状分布。
8.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述盘状喷头上的多个喷气孔是均匀分布的。
9.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述盘状喷头包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域，所述中心区域上的喷气孔的分布密度小于所述外围区域上的喷气孔的分布密度。
10.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述盘状喷头包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域，所述中心区域上的喷气孔的直径小于所述外围区域上的喷气孔的直径。
11.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述壳体为圆柱形壳体。
12.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述连接管为直管。
13.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置，其特征在于，所述封闭式温度调节装置还包括一密封圈，设置于所述加温风罩的开口处。
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