[实用新型]电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器

权利要求书

1.一种电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：包括两相对设置的支架、分别设置在两支架上且相对的平面腔镜、多个连接两支架且均匀分布在两平面腔镜外周的压电陶瓷，支架上设有与平面腔镜同光轴、用于供光线进出的通光孔；两所述平面腔镜相对的腔面上分别对应的镀有多个金属电极构成多对电容传感器，根据各电容传感器的电容值得到两腔面之间的间隙值，根据各电容传感器的电容值控制两腔面的平行度及两腔面之间的腔长。

2.根据权利要求1所述的电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：通过电容公式C＝εS/d得到两腔面之间的间隙值，其中ε为两相对的所述金属电极间介质的介电常数，S为所述金属电极的极板面积，d为两腔面之间的间隙值；将多个间隙值取平均作为两腔面之间的腔长。

3.根据权利要求1所述的电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：通过将各电容传感器与信号处理电路电性连接，信号处理电路与反馈控制电路电性连接，反馈控制电路与压电陶瓷驱动器电性连接控制两腔面的平行度；其中，所述信号处理电路用于将各所述电容传感器的电容输出信号转换为电压/电流信号，并进行求和、求差运算，输出间隙值和两腔面不平行度的信号，所述反馈控制电路根据所述信号处理电路的信号控制压电陶瓷驱动器以驱动所述压电陶瓷运动，调节两平面腔镜之间的间隙和角度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：所述平面腔镜为锥形玻璃板，面积较小的一面为所述法布里珀罗滤波器的腔面，其上镀有高反介质膜。

5.根据权利要求4所述的电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：所述腔面的周缘均匀镀有四个所述金属电极，各所述金属电极均延伸部分至锥形玻璃板的锥面上作为引线区。

6.根据权利要求4所述的电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器，其特征在于：两支架之间连接有三个沿所述锥形玻璃板外周均匀分布的压电陶瓷。