[实用新型]一种单晶炉过滤器的清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉过滤器的清洗装置。

背景技术

单晶炉大罐过滤器用于过滤大直径杂质，以防止其对真空泵的运行造成影响，同时还对真空泵油起到洁净的作用，其形状与汽车过滤器类似，体积较大，一般附着物包括硅的不完全氧化物，硅、石墨热场碳的粉尘物，密度小，体积小，质量小，容易产生“尘土”效果。不及时清理会造成单晶炉炉压偏高，真空度不足的隐患，造成炉内拉制过程中杂质不能由真空泵抽去，进而影响硅单晶的拉制过程，要求每5-10炉清扫一次，目前，单晶炉过滤器的清扫均为用清扫刷清扫并用吸尘器进行吸附，清扫工序繁琐、清扫效果差，工作效率低，对环境产生影响，并且此工序繁琐。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种单晶炉过滤器的清洗装置，它具有便于操作、清洗效率高等特点。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种单晶炉过滤器的清洗装置，包括上端开口的清洗桶，在清洗桶的桶壁设有喷水孔，喷水孔通过管路与高压水源连通；还包括用于密封并固定在清洗桶上端的开口上的清洗桶桶盖，在清洗桶的底部中央设有与电机传动连接的主动转轴，在桶盖上设从动转轴，主动转轴与从动转轴的轴线位于同一条铅垂线上，在清洗桶内设有过滤器固定装置，过滤器固定装置包括位于从动转轴上的过滤器顶部固定件和位于主动转轴上的过滤器底部固定件，过滤器固定装置将单晶炉过滤器固定后，单晶炉过滤器的中心线与铅垂线重合，在清洗桶的底部设有出水口。

本实用新型进一步改进在于：

过滤器固定装置中的过滤器顶部固定件包括其中央与从动转轴固定连接的顶部固定盘，在顶部固定盘的底部设有与单晶炉过滤器顶部凹槽相适配的凸台；过滤器固定装置中的过滤器底部固定件包括底部固定盘，在底部固定盘的中部上方设有与单晶炉过滤器底部圆孔相适配的圆柱，并设有与圆柱滑配连接的固定筒，在圆柱的轴心设有螺纹孔，与螺纹孔螺纹连接的调节手柄将固定筒与圆柱连接在一起。

喷水孔为对称设置的两组，每组由多个竖向排列在清洗桶的桶壁上的喷水孔组成。

在与喷水孔连通的管路上设有受时钟控制的电磁阀。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型在清洗桶的底部中央设有与电机传动连接的主动转轴，在桶盖上设从动转轴，主动转轴与从动转轴的轴线位于同一条铅垂线上，清洗桶内设有过滤器固定装置，过滤器固定装置包括位于从动转轴上的过滤器顶部固定件和位于主动转轴上的过滤器底部固定件，过滤器固定装置将单晶炉过滤器固定后，单晶炉过滤器的中心线与铅垂线重合，将单晶炉过滤器固定在清洗桶内后，当电机带动主动转轴转动时，过滤器会在清洗桶内高速平稳旋转；在清洗桶的桶壁设有喷水孔，喷水孔通过管路与高压水源连通，在清洗桶的底部设有出水口，在过滤器高速旋转的同时，喷水口对准过滤器喷水，利用过滤器附着物溶解于水的物理性质，完成对过滤器的清洗。本实用新型具有便于操作、清洗效率高等特点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

在附图中：1、清洗桶；2、喷水孔；3、管路；4、清洗桶桶盖；5、电机；6、主动转轴；7、从动转轴；8、单晶炉过滤器；9、出水口；10、顶部固定盘；11、凸台；12、底部固定盘；13、圆柱；14、固定筒；15、调节手柄；16、电磁阀。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步详细说明。

通过对过滤器上挥发物进行研究，发现用水对过滤器进行冲洗，即可避免对空气环境的污染，又可提高工作效率。

由图1所示的实施例可知，本实施例包括上端开口的清洗桶1，在清洗桶1的桶壁设有喷水孔2，喷水孔2通过管路3与高压水源连通；还包括用于密封并固定在清洗桶1上端的开口上的清洗桶桶盖4，在清洗桶1的底部中央设有与电机5传动连接的主动转轴6，在桶盖4上设从动转轴7，主动转轴6与从动转轴7的轴线位于同一条铅垂线上，在清洗桶1内设有过滤器固定装置，过滤器固定装置包括位于从动转轴7上的过滤器顶部固定件和位于主动转轴6上的过滤器底部固定件，过滤器固定装置将单晶炉过滤器8固定后，单晶炉过滤器8的中心线与铅垂线重合，在清洗桶1的底部设有出水口9。