[实用新型]一种单晶炉过滤器的清洗装置有效
| 申请号: | 201621245545.X | 申请日: | 2016-11-21 |
| 公开(公告)号: | CN206198863U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
| 发明(设计)人: | 赵飞;闫广宁;张鹏;董永见;李永峰 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
| 主分类号: | B01D41/04 | 分类号: | B01D41/04 |
| 代理公司: | 河北东尚律师事务所13124 | 代理人: | 王文庆 |
| 地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉 过滤器 清洗 装置 | ||
1.一种单晶炉过滤器的清洗装置,其特征在于:包括上端开口的清洗桶(1),在所述清洗桶(1)的桶壁设有喷水孔(2),所述喷水孔(2)通过管路(3)与高压水源连通;还包括用于密封并固定在清洗桶(1)上端的开口上的清洗桶桶盖(4),在所述清洗桶(1)的底部中央设有与电机(5)传动连接的主动转轴(6),在所述桶盖(4)上设从动转轴(7),所述主动转轴(6)与从动转轴(7)的轴线位于同一条铅垂线上,在所述清洗桶(1)内设有过滤器固定装置,所述过滤器固定装置包括位于从动转轴(7)上的过滤器顶部固定件和位于主动转轴(6)上的过滤器底部固定件,所述过滤器固定装置将单晶炉过滤器(8)固定后,单晶炉过滤器(8)的中心线与所述铅垂线重合,在所述清洗桶(1)的底部设有出水口(9)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉过滤器的清洗装置,其特征在于:所述过滤器固定装置中的过滤器顶部固定件包括其中央与从动转轴(7)固定连接的顶部固定盘(10),在所述顶部固定盘(10)的底部设有与单晶炉过滤器(8)顶部凹槽相适配的凸台(11);所述过滤器固定装置中的过滤器底部固定件包括底部固定盘(12),在所述底部固定盘(12)的中部上方设有与所述单晶炉过滤器(8)底部圆孔相适配的圆柱(13),并设有与圆柱(13)滑配连接的固定筒(14),在所述圆柱(13)的轴心设有螺纹孔,与所述螺纹孔螺纹连接的调节手柄(15)将固定筒(14)与圆柱(13)连接在一起。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉过滤器的清洗装置,其特征在于:所述喷水孔(2)为对称设置的两组,每组由多个竖向排列在清洗桶(1)的桶壁上的喷水孔(2)组成。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉过滤器的清洗装置,其特征在于:在所述与喷水孔(2)连通的管路(3)上设有受时钟控制的电磁阀(16)。
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