[实用新型]具有药剂回收系统的光刻胶涂布机

说明书

技术领域

本实用新型涉及的是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，属于机械设备技术领域。

背景技术

涂布机使用的光刻胶（光阻）经过VCD（真空干燥机台）动作变为气态药剂，由高压泵处理后，由气态形式转变为液态形式，重新供给到药液供给端，起到循环使用功能；目前使用的涂布药剂无回收系统，只有循环系统，如果药剂供给端处于满状态或者不供给状态，则会将循环的药剂直接从废液端口排出，对材料造成浪费，故本发明针对药剂直接从废液端排出的问题设计解决；

现有技术在药剂回收中存在设计上的缺陷导致药剂从废液端口排出，浪费材料加之药剂材料价格较高，药剂采购费用较高而且每个月消耗量极大，造成公司营运费用增加。现有的循环系统没有考量药剂回收的状况，仅仅是在机台侧需要使用时进行供给，在不需要使用时直接排出，造成不必要的浪费。

实用新型内容

本实用新型提出的是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其目的是在原有的涂布机药剂循环系统的基础上增加药剂回收系统，在涂布机不需要使用时，将排出的药剂回收存放，在机台侧需要使用时进行供给，从而将药剂有效回收，达到可控及合理利用，降低不必要的消耗，经测算单月降低成本30%，一年节省成本200万元。

本实用新型的技术解决方案：具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。

其工作方法如下：

（1）光刻胶经过真空干燥装置作业后转变为气态形式存在，经过高压冷却泵工作后，转变为液态形式形成可供使用的药剂；

（2）当容器液位传感器感应到4个药剂储存系统中的某个药剂容器处于空状态时，发出供给信号，供给信号控制的与空状态的药剂容器对应的电磁阀收到信号，控制气动阀将管道打开，将药剂提供到空状态的药剂容器内进行填充作业，并通过容器供给输出系统将药剂输出，通过药液信号控制药液供给开关控制药剂进入光刻胶输出口；

（3）当药剂储存系统不需要进行供给作业时，供给信号关闭，在信号关闭对应的管道出口处设有药剂回收系统，通过电磁阀信号控制气动阀，将排出的溶剂填充至C药剂储存系统中的药剂容器内进行存储工作；当设备端口需要药剂时，通过信号引导阀门控制，优先将C药剂储存系统中的药剂容器内药剂供给到4个药剂储存系统中的药剂容器内。

本实用新型的优点：增加回收系统，提高药剂使用率，节省材料消耗，节省费用，降低公司成本。

附图说明

附图1是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机的结构示意图。

具体实施方式

如附图1所示，具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀结构连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。

所述的药剂循环系统包括4个药剂储存系统、药液信号控制药液供给开关、光刻胶输出口；其中4个药剂储存系统由4个并联的电磁阀-气动阀-电磁阀连接而成，4个药剂储存系统中的A-1药剂储存系统和A-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、一个电磁阀连接A药液信号控制药液供给开关，B-1药剂储存系统和B-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、一个电磁阀连接B药液信号控制药液供给开关，A药液信号控制药液供给开关和B药液信号控制药液供给开关分别连接光刻胶输出口。

所述的药剂回收系统包括1个C药剂储存系统，所述C药剂储存系统的输入端通过1个气动阀-电磁阀结构连接废液排出口前的电磁阀，C药剂储存系统的输出端通过1个电磁阀、一个气动阀连接高压冷却泵的输出端。

所述的药剂储存系统包括药剂容器、容器供给输出系统、容器液位传感器；其中容器液位传感器设于药剂容器的内部，容器供给输出系统设于药剂容器的输出口。

其工作方法如下：

（1）光刻胶经过真空干燥装置作业后转变为气态形式存在，经过高压冷却泵工作后，转变为液态形式形成可供使用的药剂；