[实用新型]一种具有控温装置的射频等离子体种子处理设备

权利要求书

1.一种具有控温装置的射频等离子体种子处理设备，包括仓室组合、传送装置、调压装置、射频装置、控温装置，其特征在于，

仓室组合包括进料仓（1）、进料电动真空蝶阀（2）、分料器（3）、处理仓（6）、出料电动真空蝶阀（12）、出料仓（13）、落料斗（14）；

传送装置包括带张紧装置的带张紧装置的从动胶辊（4）、驱动电机（15）、主动胶辊（16）、传送带（17）；

调压装置包括处理仓抽气口（7）、电磁充气阀（8）、真空波纹管（9）、真空泵（10）、第一气体转子流量计（20）、第二气体转子流量计（21）、电阻真空计（22）、电阻硅管（29）、驱动电机接线口（30）、射频电源接线口（31）、真空观察窗（32）、处理仓仓门（33）、第一电磁阀（34）、第二电磁阀（35）；

射频装置包括射频匹配器（18）、射频电源（19）、触摸显示屏（23）、上电极板（24）、上绝缘板（25）、下电极板（26）；

控温装置包括空调压缩机（11）、盘管（27）、温度传感器（28）。

2.根据权利要求1所述的处理设备，其特征在于，处理仓（6）呈长方体，其内部设有可抽出式架板（5）；进料仓（1）位于处理仓（6）的上部，通过进料电动真空蝶阀（2）与处理仓（6）连通；分料器（3）位于处理仓（6）内部，设置在进料电动真空蝶阀（2）的正下方；出料仓（13）位于处理仓（6）的下部，出料电动真空蝶阀（12）位于出料仓（13）下方且与出料仓连通；落料斗（14）位于处理仓（6）内部，设置在出料仓（13）的正上方。

3.根据权利要求1所述的处理设备，其特征在于，驱动电机（15）位于架板（5）的一侧；主动胶辊（16）通过轴承座固定于架板（5）上，与驱动电机（15）之间通过链条连接；带张紧装置的从动胶辊（4）通过张紧装置连接到架板（5）上；传送带（17）缠绕在主动胶辊（16）和带张紧装置的从动胶辊（4）上。

4.根据权利要求1所述的处理设备，其特征在于，真空泵（10）位于种子处理设备的底部；电阻硅管（29）位于处理仓（6）的内部；电阻真空计（22）位于种子处理设备的前面板上，并与电阻硅管（29）连接。

5.根据权利要求1所述的处理设备，其特征在于，射频电源（19）位于种子处理设备的顶部；射频匹配器（18）位于射频电源（19）的下方且位于处理仓（6）的上方；射频电源（19）与射频匹配器（18）通过射频连接线相连，由射频匹配器（18）引出射频连接线通入处理仓（6），连接上电极板（24）。

6.根据权利要求1所述的处理设备，其特征在于，温度传感器（28）位于处理仓（6）内部；空调压缩机（11）位于种子处理设备的底部；盘管（27）盘绕在处理仓（6）的内部上表面，并通向处理仓（6）外，用于连接空调压缩机（11）。