[实用新型]掩模版传输系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种传输系统，尤其涉及一种掩模版传输系统。

背景技术

掩模版传输系统是光刻设备的重要组成部分，其对掩模版的安全传输起着至关重要的作用。在平板显示设备的制备工艺中，掩模版的尺寸与重量都不断增大，因此对掩模版传输系统的传输安全性和可靠性的要求也在不断提高。

现有的六代掩模版的传输系统中，掩模版从版库到掩模台的输送主要由取放版机械手与交换版机械手共同参与，即，取放版机械手从版库内取出掩模版至交接位，再由交换版机械手取掩模版至掩模台，因此工作的行程较大，影响传输效率。此外，由于受到空间布局的限制，取放版机械手与交换版机械手均采用悬臂梁的结构，输送大尺寸掩模版的过程中机械手会产生较大的弹性变形。这些因素对大尺寸掩模版的安全、精密传输都会产生不利影响。

为解决上述问题，本实用新型提出了一种掩模版传输系统，尤其是一种传输大尺寸掩模版的掩模版传输系统，不仅可以提高传输效率，也可以大幅度减小掩膜版传输机构的变形，从而实现大尺寸掩模版的安全、可靠、精密传输。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩模版传输系统，能够安全、可靠、精密地传输掩模版，尤其是大尺寸掩模版。

为达到上述目的，本实用新型提出了一种掩模版传输系统，尤其是一种传输大尺寸掩模版的掩模版传输系统，包括：版库；缓存台；机械手运动模组；掩模台。版库用于储存掩模版，并管理掩模版信息。缓存台具有将掩模版输送至与机械手交接工位的作用。机械手运动模组用于搭载机械手版叉。机械手版叉用于传输掩模版。掩模台具有携带未曝光掩模版至曝光工位及携带已曝光掩模版至与机械手版叉交接工位的作用。

优选地，机械手运动模组横跨于缓存台与掩模版之间。

优选地，机械手运动模组下表面设有一滑轨。

优选地，所述机械手版叉包括机械手版叉第一部和与其连接的机械手版叉第二部。机械手版叉第一部对称地悬挂于滑轨上，机械手版叉第二部沿与滑轨延伸方向垂直的第二方向运动。

优选地，机械手版叉第二部下表面设有多个吊钩组件与多个吸附结构，多个吊钩组件用于固定掩模版，以减少其弹性形变，多个吸附结构用于吸附掩模版，以增加传输安全性。

优选地，机械手版叉第二部下表面为多边形或圆形。

优选地，吊钩组件设于机械手版叉第二部下表面的周边。

优选地，吸附结构设于机械手版叉第二部下表面，呈圆形或正方形均匀分布。

优选地，多个吸附结构均为柱体真空吸附结构或锥体真空吸附结构。

优选地，机械手版叉第二部的下表面设有粗对准装置，用于在多个吊钩组件获取掩模版时进行预对准操作。

优选地，所述版库具有版库版叉，所述版库版叉具有驱使其沿滑轨延伸的方向运动的第一驱动单元，将未曝光的掩模版推送至缓存台或将已曝光的掩模版载运回版库。

优选地，所述缓存台位于版库与掩模台之间，其具有驱使其沿与滑轨延伸的方向垂直的第二方向运动的第二驱动单元。

优选地，所述掩模台具有驱使其沿第二方向运动的第三驱动单元，同时具有携带掩模版运动至曝光位的第四驱动单元。

综上所述，本实用新型提出的掩模版传输系统中，机械手运动模组横跨于缓存台与掩模台之间，且其下表面设有一滑轨。机械手版叉对称地悬挂在滑轨上，其运动轨迹为直线，传输路径简单，增加了系统传输效率，且降低了系统传输风险；进一步，机械手版叉对称地悬挂在滑轨上，避免使用传统传输大尺寸掩模版过程中的悬臂梁或其他非对称结构，可以有效避免因掩模版受力不均匀而导致的倾斜变形和弹性变形，从而增加了掩模版传输系统的安全性。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的掩模版传输系统的结构示意图；

图2是图1所述掩模版传输系统的结构俯视图；

图3是图1中机械手版叉结构示意图；

图4是本实用新型实施例中掩模版传输系统中掩模版上版操作流程图；

图5是本实用新型实施例中掩模版传输系统中掩模版下版操作流程图；

图中：

100-机械手运动模组；110-机械手版叉第一部；120-机械手版叉第二部；121-吸附结构；122-吊钩组件；200-版库；210-版库版叉；300-缓存台；400-掩模台；500-待传输掩模版；610-第一交接工位；620-第二交接工位。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细的描述，以充分了解本实用新型的目的、特征和效果。