[实用新型]硅片承载花篮有效
| 申请号： | 201620897418.1 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN205900515U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 吴佳俊;邹海军;吴俊;王少华;吴家宏;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 承载 花篮 | ||
【说明书】：
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